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            等離子體刻蝕

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            中國(guó)粉體網(wǎng)訊 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,等離子體刻蝕逐漸成為半導(dǎo)體制造工藝廣泛應(yīng)用的技術(shù)。等離子體刻蝕產(chǎn)生的等離子體具有很強(qiáng)的腐蝕性,在刻蝕晶圓的過程中也會(huì)對(duì)工藝腔腔體和腔體內(nèi)部件造成嚴(yán)重腐蝕,所以半導(dǎo)體加工設(shè)備中與等離子體接觸[更多]

            資訊 半導(dǎo)體陶瓷碳化硅半導(dǎo)體設(shè)備聚焦環(huán)等離子體刻蝕
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