中國粉體網(wǎng)訊多晶硅還原爐反應(yīng)機理多晶硅還原爐內(nèi)反應(yīng)本質(zhì)上屬于原子范疇的氣態(tài)傳質(zhì)過程,物料H2和SiHCl3沿著基體硅棒表面由下及上擴散,到達(dá)還原爐頂部后再由上及下回到底盤,經(jīng)尾氣管道排出還原爐在連續(xù)反應(yīng)的過程中,H2和SiH[更多]
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