主成分含量(%):
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石墨舟的組成部分
石墨舟的分類
1.長度電極導電型 | 2.舟腳導電型 | 3.隔塊導電型 |
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石墨舟原材料
石墨舟改進成功方案
1.通用兼容型舟改造
方案:增加三個銷釘孔
兼容規(guī)格:156-166 166-182 182-210
2.硅片減少劃傷的石墨舟改造方案
方案:舟片內(nèi)框及邊緣增加倒角
說明:倒角分為:圓角(R角)斜角(C角)(坡角)
目的:減少機械手吸片操作時產(chǎn)生的機械劃傷
3.石墨舟載片規(guī)格156型改166型改進方案
方案二:縮隔塊,縮框與框的間距
說明:在不影響石墨舟承載硅片數(shù)量的前提下,修改隔塊長度,修改框和框之間的間距
4.硅片減少劃傷的石墨舟改造方案
方案:更換‘LV’銷釘
說明:結合‘V’型銷釘和‘U’型銷釘,改進‘LV’銷釘
目的:減少掉片率,減少劃傷,減少硅片陰影面積
石墨舟的生產(chǎn)和質量管理
石墨舟的質量精度控制
暫無數(shù)據(jù)!