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BRAVERY 3000

光調(diào)制反射晶圓檢測系統(tǒng)

BRAVERY 3000 是具有巨大市場價值的新型晶圓缺陷檢測設(shè)備，其采用光調(diào)制反射技術(shù)，可實現(xiàn)對晶圓的非接觸、無損傷、在線、快速、內(nèi)部檢測，精準診斷與定位晶圓缺陷，該產(chǎn)品對有/無圖案晶圓均適用，可填補當(dāng)前國內(nèi)市場離子注入工藝非接觸檢測設(shè)備的國產(chǎn)化空白，實現(xiàn)晶圓注入質(zhì)量特性檢測量產(chǎn)化。

產(chǎn)品特點

非接觸非破壞性

有/無圖案晶圓皆適用

可作為在線檢測設(shè)備

無需測前與測后處理，超快檢測速度

軟件檢測操作簡單

主要應(yīng)用

各種離子注入及退火工藝的質(zhì)量監(jiān)控

刻蝕等工藝對晶圓損傷的質(zhì)量監(jiān)控

產(chǎn)品優(yōu)勢

自研產(chǎn)品，可定制化

可自動生成wafer map等可視化數(shù)據(jù)