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SEM納米探針臺.品牌
安徽澤攸產(chǎn)地
安徽樣本
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SEM納米探針臺產(chǎn)品實現(xiàn)了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優(yōu)點,可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作。
SEM納米探針臺產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動,運無需潤滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。
三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現(xiàn)微納操縱和測量的目的。
產(chǎn)品應(yīng)用
單個探針指標
外形尺寸:L48.6mm*W32.2mm*H43.6mm
X/Y/Z軸行程:±10mm
X/Y/Z軸速度:~3mm/s
X/Y/Z軸運動分辨率:<0.5nm
Z軸**負載:270g
標準配置包含:
探針主體
適配SEM/FIB的底座
過真空法蘭
探針控制器及控制手柄
選配:
低溫、高溫樣品臺
光纖夾頭和光纖真空饋通
EBIC套件
產(chǎn)品特點
結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性
零間隙,高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)
壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命
內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋
應(yīng)用:納米材料操縱、納米器件電學光電等物性測量、生物細胞DNA操作等
適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等
應(yīng)用案例
暫無數(shù)據(jù)!
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