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全自動晶圓磨邊機為晶圓倒角、晶圓磨邊、鍵合片晶圓層階倒角的專用設備，利用精密砂輪對晶圓進行研磨整形加工。適用于2″- 6″晶圓、4″- 8″晶圓、8″-12″晶圓
l 全自動 12″, 4″～ 8″, 2″～ 6″ 晶圓磨邊倒角
l Si, SiC, GaAs, LT, LN, GaN, 藍寶石等適用
l 可進行 T、R、TT、RR、TR等邊形倒角
l 適用于一次倒角及二次倒角加工
l 可自動進行粗研及精研加工
l 可選配晶圓邊緣拋光功能
l 配備晶圓沖洗及干燥功能
l 具備 SECS/GEM 通訊功能
l 可與天車等 AMHS 系統對接
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