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MCS 系列耐腐蝕氣體流量控制器品牌
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MCS 系列耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到設(shè)定值并保持對(duì) 128 多種氣體（包括 32 種腐蝕性氣體）的質(zhì)量流量、體積流量或壓力的穩(wěn)定控制。
腐蝕性氣體兼容 - 與32 種純腐蝕性氣體和大多數(shù)制冷劑氣體兼容的接液材料。
用途廣泛且準(zhǔn)確 - 對(duì)128 種以上的氣體和 20 種自定義混合物進(jìn)行實(shí)時(shí)控制，具有 NIST 可追溯精度至 ±（讀數(shù)的 0.4% + 滿(mǎn)量程的 0.2%）。
快速控制，多變量數(shù)據(jù) - 通電后的毫秒響應(yīng)時(shí)間，以您選擇的工程單位控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力，并顯示瞬時(shí)流量、壓力和溫度讀數(shù)。
易于集成 - 定制過(guò)程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業(yè)過(guò)程中。
| 精度 | ± 0.8 %R.D and ± 0.2 %F.S |
重復(fù)度 | ± 0.2 %F.S |
| 控制范圍 | 1–100% F.S |
| 控制響應(yīng)時(shí)間 | （T63）用戶(hù)可調(diào)：0.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms；10 SCCM-20 SLM :30-4000ms；50 SLM-5000 SLM：30-150ms |
| 顯示響應(yīng)時(shí)間 | 用戶(hù)可調(diào)：0.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms；10 SCCM-20 SLM :<10ms；50 SLM-5000 SLM：65-255ms |
| 溫度精度 | ±0.75°C |
| 工作溫度 | ?10–60°C |
| 壓力精度 | ±0.5%R.D |
預(yù)熱時(shí)間 | <1 s |
| 模擬通訊 | 4–20 mA, 0–5 VDC, 1–5 VDC, 0–10 VDC |
| 數(shù)字通訊 | RS-232； RS-485 ；Modbus RTU (over RS-232 or RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus |
| 電氣接口 | 6 pin locking, 8 pin mini-DIN, 8 pin M12, DB-9, DB-15 |
| 電 源 | 12 - 30 VDC ； 250 mA，1 A，2 A額外加 40 mA（ 4-20 mA ） |
| 閥門(mén)類(lèi)型 | 常閉 |
| 密封材質(zhì) | 316L、303、和430FR不銹鋼、FFKM（標(biāo)準(zhǔn)）可根據(jù)特殊氣體選用FKM或EPDM，R閥門(mén)增加410不銹鋼 |
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