口徑：
-壓力：
5*10-5Pa設計標準：
-出口直徑（mm）：
-進口直徑（mm）：
-泵軸位置：
其他驅動方式：
其他輸送物料：
-連接方式：
其他材質：
其他
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設備特點與技術指標：
1、機組組成：復合分子泵+機械泵；
2、真空度：
A、設備真空度在分子泵啟動到400Hz后優(yōu)于3*10-3Pa;
B、30分鐘以內優(yōu)于5*10-5Pa;
C、極限真空5*10-5Pa。
3、機組特點:
機組為可移位臺式小車結構，能夠滿足不同位置排氣的需要。機組配備預抽排氣系統(tǒng)，可在分子泵不停止的狀態(tài)下實現(xiàn)換工件、預抽真空、抽高真空的排氣流程，縮短了排氣時間，有效提高了工作效率。
機組配置:
1、300升/600升水冷復合分子泵1臺。
2、抽速12L/s機械泵1臺。
3、40角閥一套。
4、高真空復合真空計1套。(包括電離規(guī)、電阻規(guī))
5、直徑108mm*高80mm（150mm*高200mm）真空室1套。
6、帶腳輪、圍板及不銹鋼臺面的小車1套。
7、水冷機1臺。
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