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特征:
高單脈沖能量(>1.5mJ)及高平均功率(15W);
光束質(zhì)量好M2<1.2,圓度高,加工均勻性好;
脈沖能量穩(wěn)定性好,加工效果一致性好;
脈沖寬度窄<15ns@10kHz,熱影響?。?br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px;"/>
可選風(fēng)冷或水冷;
應(yīng)用:
半導(dǎo)體晶圓的切割、標(biāo)識(shí)、打孔;
鋰電池極耳的切割,焊接;
PCB電路板的切割、打孔;
激光精密調(diào)阻;
精密鉆孔加工;
金屬類材料切割、打標(biāo)、打孔;
激光晶體 | Nd:YAG | Nd:YAG | Nd:YAG | Nd:YAG |
波長(zhǎng) | 1064nm | 1064nm | 1064nm | 1064nm |
功率 | 2W | 5W | 5W | 15W |
工作頻率 | 10kHz | 10kHz | 10kHz | 10kHz |
單脈沖能量 | 0.2mJ | 0.5mJ | 0.5mJ | 1.5mJ |
脈沖寬度 | <12ns | <40ns | <70ns | <40ns |
重頻頻率 | 1~30kHz | 1~50kHz | 1~50kHz | 1~50kHz |
光束質(zhì)量 | <1.2 | <1.2 | <1.2 | <1.3 |
光斑圓度 | >90% | >90% | >90% | >90% |
脈沖穩(wěn)定性 | <2.5% | <2.5% | <2.5% | <2.5% |
偏振方式 | 豎直 | 豎直 | 豎直 | 豎直 |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 水冷 |
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