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面議型號
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵品牌
寧波愛發(fā)科產(chǎn)地
浙江樣本
暫無設(shè)計標(biāo)準：
-出口直徑（mm）：
-進口直徑（mm）：
-泵軸位置：
其他驅(qū)動方式：
其他輸送物料：
-連接方式：
其他材質(zhì)：
其他口徑：
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特長
NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動
優(yōu)良的耐腐蝕性
標(biāo)準零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
選購件
可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。
用途
? 活性氣體（CVD、刻蝕等）。
? 排出非活性氣體（濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。
? 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
? 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。
? 冷凍干燥等水蒸氣排氣。
暫無數(shù)據(jù)！
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