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BST-1200C-CVD品牌
貝意克產(chǎn)地
安徽合肥樣本
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一、產(chǎn)品特色
1、氣體先經(jīng)過(guò)氣體預(yù)熱爐預(yù)熱后進(jìn)入流化床反應(yīng)腔體，可以降低大量冷氣流進(jìn)入腔體對(duì)工藝的影響。
2、反應(yīng)器出口配有攪動(dòng)裝置， 防止碳管在反應(yīng)器出口堵塞。
3、進(jìn)液口附近配有測(cè)溫?zé)犭娕迹?可以控制進(jìn)液口的溫度。
4、進(jìn)液口活動(dòng)式， 可以根據(jù)工藝需要的溫度調(diào)整上下位置。
5、收集器排氣口安裝可轉(zhuǎn)動(dòng)式濾網(wǎng)，方式濾網(wǎng)堵塞。
二、基本參數(shù)
爐管材質(zhì) | 石英管 |
爐管尺寸 | Φ300mm（外徑） |
加熱元件 | 電阻絲 |
工作溫度 | ≤1100℃ |
溫控系統(tǒng) | 30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為液晶觸摸屏控制 |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300+300+300+300+300mm（5溫區(qū)） |
| 氣路系統(tǒng) | 內(nèi)部裝有5路高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量，按要求配比 |
準(zhǔn)確度 | ±1.5% |
線(xiàn)性 | ±0.5～1.5% |
重復(fù)精度 | ±0.2% |
響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
預(yù)抽真空泵抽速 | 60m3/H |
氣體預(yù)熱爐加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300+300+300mm |
預(yù)熱爐加熱元件 | 電阻絲 |
預(yù)熱爐盤(pán)管材質(zhì) | 310S |
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