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全自動(dòng)晶圓激光打標(biāo)機(jī) HDZ-WAF600品牌
大族激光產(chǎn)地
廣東樣本
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打標(biāo)及CCD系統(tǒng):
1、結(jié)合二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、激光打標(biāo)系統(tǒng)、上下位置攝像系統(tǒng)。
2、二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)集成直線電機(jī)。
3、上位攝像頭根據(jù)晶圓特征點(diǎn)提供位置數(shù)據(jù)信息。下面的檢查攝像系統(tǒng)將測(cè)量真實(shí)的標(biāo)記位置。
4、系統(tǒng)根據(jù)以上所述2臺(tái)相機(jī)測(cè)量數(shù)據(jù)判斷打標(biāo)位置偏移是否在公差范圍內(nèi)。
規(guī)格：
| 1 | 控制系統(tǒng) | 光學(xué)掃描儀+控制卡+WIN7 | |
| 2 | 激光 | 波長(zhǎng) | 355nm |
| 3 | 功率 | 3W | |
| 4 | Fθ 鏡 | Box：50*50mm (取決于達(dá)標(biāo)效果) | |
| 5 | 冷卻方式 | 水冷 | |
| 6 | 2D平臺(tái) | 行程 | 400x300mm（線性平臺(tái)） |
| 7 | 重復(fù)定位精度 | ±0.002mm | |
| 8 | *小線高 | 0.05mm | |
| 9 | 加工產(chǎn)品尺寸 | 6英寸 8英寸 12英寸 晶元 | |
| 10 | 設(shè)備重復(fù)加工精度 | ±0.05mm | |
| 11 | 定位精度 | ||
| 12 | 支持的文件格式 | Dxf, plt etc | |
| 13 | 電力需求 | 單相 220V | |
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