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四探針電阻儀品牌
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型號(hào)：美國(guó)CDE ResMap 178
技術(shù)參數(shù)：
﹡測(cè)量尺寸：2~8寸晶圓
﹡測(cè)量速度：大于49點(diǎn)/分鐘
﹡測(cè)量范圍：1mΩ sq-1 ~5MΩ sq-1
﹡測(cè)量重復(fù)性：≤±0.02%
﹡精確度：＜0.1%
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