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全自動(dòng)膜厚測(cè)量?jī)xEA-160品牌
PTC產(chǎn)地
廣東樣本
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EA-160是一款全自動(dòng)非接觸式表面測(cè)量?jī)x。利用光譜共焦原理，EA-160可用于膜厚線寬測(cè)量、微觀尺寸測(cè)量、高度差測(cè)量、平面度測(cè)量、共面度測(cè)量、粗糙度測(cè)量等，也可對(duì)透明半透明材質(zhì)進(jìn)行多層尺寸測(cè)量。高精度、高速測(cè)量，結(jié)合強(qiáng)大易用的軟件，EA-160膜厚測(cè)試儀被廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、5G、3D玻璃、新型醫(yī)療、精密工業(yè)制造等領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域：
HTCC膜厚線寬測(cè)量、LTCC膜厚線寬測(cè)量、SOFC印刷厚度測(cè)試、厚膜電路測(cè)量、晶圓涂膠測(cè)量、MEMS測(cè)量、SENSOR測(cè)量、太陽(yáng)能硅片測(cè)量、芯片形貌測(cè)量、透明材質(zhì)測(cè)量、環(huán)氧樹脂測(cè)量、印刷圖形測(cè)量、激光鐳雕測(cè)量、Wafer槽深測(cè)量、斷差測(cè)量、Lens測(cè)量、油墨厚度測(cè)量、藍(lán)寶石厚度測(cè)量、曲面鏡片測(cè)量
特點(diǎn)：
高速度、高精度自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)
**160mm*160mm 范圍測(cè)量
透明材質(zhì)穿透測(cè)量
測(cè)量膜厚、線寬、平面度等
多程序自由切換，方便靈活
參數(shù)：
| 設(shè)備品名 | 全自動(dòng)非接觸膜厚測(cè)試儀 |
| 設(shè)備型號(hào) | EA-160 |
| XY測(cè)量行程 | 160*160mm |
| Z軸可調(diào)行程 | 50mm |
| 掃描*小步距 | 1um |
| **掃描速度 | 30mm/s |
| 陶瓷檢測(cè)重復(fù)精度 | ±0.5μm |
| Z向分辨率 | 1nm |
| 橫線分辨率 | 0.1um |
| 光柵尺分辨率 | 0.01um |
| 量程 | 1200um |
| 測(cè)試方式 | 可編程自動(dòng)測(cè)量 |
| MARK類型 | 圓形、方形、十字、菱形、多邊形、不規(guī)則圖形 |
| 載物平臺(tái) | 微孔陶瓷真空吸附平臺(tái) |
| 膜厚測(cè)試 | 支持 |
| 線寬測(cè)試 | 支持 |
| 粗糙度測(cè)試 | 支持 |
| 透明材料自動(dòng)測(cè)厚 | 支持 |
| 孔深、刻槽深度測(cè)試 | 支持 |
| 測(cè)量原理 | 光譜共焦 |
| CCD視覺 | 500萬(wàn) |
| 紅外激光對(duì)準(zhǔn)器 | 標(biāo)配 |
| 數(shù)據(jù)輸出 | Excel、CSV格式、JPG格式 |
| 數(shù)據(jù)分析 | CPK |
| 數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì) | 平均值，**值，*小值，極差，標(biāo)準(zhǔn)差，CP，CPK，良率，總數(shù) |
| 數(shù)據(jù)接口 | 串口協(xié)議、網(wǎng)口協(xié)議 |
| 接口類型 | RS485、RS232、RJ45 |
| 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | 存儲(chǔ)位置任意指定 |
| 數(shù)據(jù)回測(cè) | 任意節(jié)點(diǎn)數(shù)據(jù)回測(cè) |
| MES信息化系統(tǒng) | 支持 |
| 設(shè)備日志 | 具備 |
| 操作系統(tǒng) | WIN10 |
| 校驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)塊規(guī) | 標(biāo)配 |
| 三角塊規(guī) | 標(biāo)配 |
| 外觀尺寸 | 950*650*500mm |
| 電源 | AC220V±10%,50-60Hz |
| 氣源壓縮空氣 | 0.3~0.7Mpa或真空氣源 |
| 重量 | 250KG |
| 工控主機(jī) | 內(nèi)存8G、固態(tài)硬盤480G、顯示器23.8“、分辨率1920*1080，高速千兆網(wǎng)口PCI*2 |
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