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制作綠碳化硅微粉的一般方法：碳化反應(yīng)：將預(yù)處理后的混合物置于高溫環(huán)境中進行碳化反應(yīng)。碳源中的碳原子與硅源中的硅原子發(fā)生反應(yīng)，生成綠碳化硅（SiC）。這一步通常在高溫爐中進行，可以采用化學(xué)氣相沉積（CVD）或其他碳化方法。
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