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        成都真空設(shè)備 surpass復(fù)合磁控濺射鍍膜機
        成都真空設(shè)備 surpass復(fù)合磁控濺射鍍膜機

        參考價格

        100-150萬元

        型號

        CM-012

        品牌

        超邁光電

        產(chǎn)地

        四川成都

        樣本

        暫無
        成都漢普升科技有限公司

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        ●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、過渡倉、磁力機械手、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成,同時匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),可根據(jù)客戶使用需求定制。

        ●真空腔體:φ650X700雙層水冷;(可根據(jù)實際需求定制)

        ●真空系統(tǒng):分子泵+低溫泵+羅茨泵+機械泵復(fù)合真空系統(tǒng);

        ●真空抽速:1600L/S,進口全量程復(fù)合真空計,全金屬防爆真空規(guī);

        ●極限真空:6.7X10-5Pa;(根據(jù)客戶選擇主泵確定)

        ●磁控靶組件:4個矩形靶,3個圓形靶,根據(jù)客戶實際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源;

        ●離子源:1套線性離子源,匹配專用電源;

        ●氣路:4路反應(yīng)氣體,進口質(zhì)量流量計,1路毛細保護氣路;

        ●烘烤溫度:300℃,不銹鋼鎧裝加熱器,可拆卸快裝結(jié)構(gòu);

        ●工件盤:導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套,工件盤裝夾移動小車一輛;

        ●控制系統(tǒng):西門子PLC+西門子人機界面+工業(yè)控制計算機。


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