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Axio Imager.Vario具有寬大樣品空間，十分適合于半導(dǎo)體行業(yè)（比如太陽能電池、晶圓加工檢測、平板顯示器（FPD））成產(chǎn)的材料檢測、工藝研發(fā)，以及在線檢測。

技術(shù)參數(shù)

1、物鏡：5x、10x、20x、50x、100x（可選1.25x，2.5、150x，可選LD功能）。

2、目鏡：放大10x（可選16x、25x）；視場數(shù)23（可選25）。

3、物鏡自動聚焦**行程：5mm。

4、樣品空間深度（光軸到立柱的距離）；385mm。

5、載物臺行程：

透反兩用手動載物臺，200mmX200mm移動范圍；

反射光用手動載物臺，300mmX300mm移動范圍；

透反兩用電動載物臺，200mmX200mm移動范圍；

透反兩用電動載物臺，反射光用時300mmX300mm移動范圍，透射光用時200mmX200mm移動范圍。

6、顯微鏡模塊質(zhì)量：17.5到20kg。

7、光源：12V100W鹵素燈，智能化光路管理器，光強色溫自動可調(diào)。

8、可擴展性：可選自動聚焦，可選透射光路。