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日本HORIBA痕量氣體在線分析儀GA-370
GA-370 用于空氣分離和半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)的高純氣體的質(zhì)量管理,為氣體生產(chǎn)設(shè)施的質(zhì)量管理提供連續(xù)的,高靈敏度及高精確度的微量雜質(zhì)(CO,CO2,CH4)監(jiān)測。
一.高靈敏度的監(jiān)測
1.采用交替流動調(diào)制型雙光束非分散紅外吸收法(NDIR),零點極其穩(wěn)定,無漂移。
2.*小檢測限(MDL)為10 ppb,可支持需要高精度測量的應(yīng)用。
GA-370痕量氣體分析儀內(nèi)置的紅外光源的光束通過氣室到達檢測器。在測量過程中,電磁閥交替地將樣氣和參比氣體引入到分析儀的測量氣室中。
與氣室中充滿參比氣體時的情況相比,當(dāng)氣室中充滿樣氣的時候,樣氣中的CO、CO2以及CH4會引起到達檢測器的光強度的不同。檢測器檢測到的兩種氣體對光的吸收差異,使檢測器薄膜發(fā)生偏轉(zhuǎn)而振動。采用這種測量技術(shù)能省去光學(xué)斬波器和光學(xué)調(diào)整的需要,消除零點漂移,提高了靈敏度。
二.高純氣體中微量雜質(zhì)的監(jiān)測
可應(yīng)用于典型平衡氣體如:氮氣,氧氣,氦氣,氬氣,氫氣和空氣。
如有需要用于測量其他平衡氣的情況, 我司。
三.操作簡便,免維護
1.操作簡便的屏幕菜單簡化了分析儀的校準(zhǔn)和測量等各項操作。
2.無需光學(xué)調(diào)整。
3.觸摸式彩色液晶顯示屏(LCD)能夠以圖表方式顯示歷史數(shù)據(jù)。
四.典型應(yīng)用
一般情況下,工業(yè)氣體如氧氣和氮氣,是由空氣分離設(shè)備制造的。將除去水分(H20)和二氧化碳(CO2)的原料空氣通入分離裝置,分離裝置利用氮氣(N2)、氬氣(Ar)和氧氣(O2)三者沸點不同分離出不同氣體。同樣地,空氣分離設(shè)備也能制造其他稀有或惰性氣體,如氫氣(H2)和氦氣(He)。
HORIBA 的GA-370痕量氣體分析儀能有效測量分離后氣體中的雜質(zhì),保證了氣體質(zhì)量。
五.在線分析儀GA-370技術(shù)參數(shù):
型號: GA-370
測量組分: CO, CO2 和 CH4
高純氣體種類: N2,O2,He, Ar, H2, Air
測量組分?jǐn)?shù): 1-2種(由平衡氣體種類決定)
測量原理:交替流動調(diào)制型雙光束非分散紅外吸收法(NDIR)
量程:0~1/2/5/10 ppm
檢測下限:10 ppb
零點漂移:≤±0.02 ppm/天, ≤±0.03 ppm/周
量程漂移:≤±2% F.S./天, ≤±3% F.S./周
響應(yīng)時間:≤180s
外形尺寸和重量:430(W)×221(H)×555(D) mm (不包括突出部分),約18 kg
電源:100~240 V AC,≤±10% (不超電壓:250 V AC)
日本堀場HORIBA痕量氣體在線分析儀GA-370中國技術(shù)服務(wù)中心 中文說明書
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