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PGS/PGM 1000光譜儀憑借優(yōu)異的消像差設(shè)計，可實現(xiàn)一機兩用，配合單通道探測器作為單色儀，配合CCD使用作為攝譜儀。光路由一片消像差平面光柵和一片超環(huán)面鏡組成，為極紫外光譜分析優(yōu)化設(shè)計。掠入射光路設(shè)計將可探測波長拓展到軟X射線，與此同時，攝譜儀模式下焦平面垂直于出射光軸，使CCD上接受的光通量**化。
技術(shù)特點
HJY**的消像差平面光柵結(jié)合超環(huán)面鏡，同時兼顧高分辨率和低像差。
在軸設(shè)計，光路易準(zhǔn)直。
出射光直射CCD表面，光通量大。
只需更換出射狹縫和法蘭，即可實現(xiàn)單色儀和攝譜儀之間的切換，一機兩用。
支持超高真空10-9mbar，可接入同步輻射裝置。
光譜范圍覆蓋到4nm，4-16nm具有超高分辨率
典型應(yīng)用
紫外可調(diào)濾波/光源
激光高次諧波
等離子體物理研究
X射線光電子能譜
EUV光源表征
技術(shù)指標(biāo)
三塊標(biāo)準(zhǔn)光柵可選 | |
54403130 (僅提供母光柵) | 3600gr/mm 光柵， 光譜范圍：4-16nm (77-310 eV) 出射端線色散: 0.2-0.5nm/mm 平均分辨率: 0.05nm |
54402130 | 1800gr/mm 光柵， 攝譜儀模式下 光譜范圍：8-32nm(39-155eV) 或 7-32.5nm 出射端線色散：0.04-0.1nm/mm 平均分辨率：0.1nm |
54401130 | 550gr/mm 光柵， 攝譜儀模式下 光譜范圍：30-125nm (10-41eV) 或26-126nm 出射端線色散：0.08-0.3nm/mm 平均分辨率：0.3nm |
光學(xué)設(shè)計 | HJY**平面光柵加超環(huán)面鏡光路設(shè)計 |
焦長 | |
孔徑 | f/48 |
分辨率 | 低至0.02nm |
波長驅(qū)動 | 步進電機，USB2.0接口 |
高真空 | 10-6 mbar |
真空泵法蘭 | DN63 LF |
狹縫 | 測微狹縫 |
陣列探測器法蘭 | DN100CF/ICF152 |
可選項: | |
狹縫 | 固定或內(nèi)置可切換狹縫 |
超高真空 | 10-9 mbar配備DN100CF 真空泵法蘭和DN40CF真空計法蘭 |
附件
前鏡腔，配備兩塊超環(huán)面鏡，實現(xiàn)光源和單色儀之間的光學(xué)匹配
后鏡腔，配備兩塊超環(huán)面鏡，實現(xiàn)單色儀和樣品室之間的光學(xué)匹配
樣品室，可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品
偏振插片
制冷機，*低至4K
真空泵
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