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        小型離子濺射儀108
        小型離子濺射儀108

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        廣州競贏化工科技有限公司

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        108真空鍍膜儀是一款結構緊湊的手動型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。

        主要特性

        l通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。

        l操作容易快捷,控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。

        l可用MTM-10高分辨膜厚控制儀(選件)精確測定所鍍膜的厚度。

        l數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和**的鍍膜效果。

        l可使用多種金屬靶材:Au Au/Pd,,Pt,,Pt/PdAu靶為標配),靶材更換快速方便。

        l

        技術參數(shù)

        l

        l

        濺射系統(tǒng)

        樣品室大小

        直徑120mm x 120mm

        靶材

        Au 靶為標配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);

        大?。褐睆?/span>57mm x 0.1mm

        樣品臺

        可以裝載12SEM樣品座,高度可調范圍為50mm

        濺射控制

        微處理器控制,安全互鎖

        濺射電流

        5~45mA可調

        濺射頭

        低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護罩

        計量表

        真空: Atm - 0.001mbar,電流:0~50mA

        厚度監(jiān)控 (選件)

        使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)精確測定所鍍膜的厚度

        控制方法

        具有氣體換氣和泄氣功能,帶有“暫?!笨刂频臄?shù)字定時器(5300s

        真空系統(tǒng)

        真空泵

        2級直連式高速真空泵

        抽氣速率

        3.0 m3/小時,真空度到 0.1mb所需時間30.

        極限真空

        5 x 10-3mba

        桌上系統(tǒng)

        真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng)

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        10分

        售后服務

        10分

        易用性

        10分

        性價比

        10分
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