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勞厄單晶取向測試系統(tǒng):
背散射勞厄測試系統(tǒng),實時確定晶體方向,精度高達0.1度;
PSEL 軟件定向誤差低至 0.05度;
多晶硅片二維定向mapping;
大批量樣品篩選;
超20kg重負荷樣品定位
水平放置系統(tǒng)
特征 | 優(yōu)點 |
<200um 光束尺寸 | 可測量小 晶體 |
電動位移臺 | 可沿生長軸軸向掃描 |
電動角位移 | 與同步加速器/中子設備直接兼容 |
手動角位移 | 與切割刀具直接兼容 |
垂直放置系統(tǒng)
特征 | 優(yōu)點 |
<200um 光斑 | 適用于小晶粒的多晶結構 |
大范圍電動線性掃描位移臺 | 允許自動晶圓mapping或多個樣品 |
電動Z 軸驅動 | 適用大尺寸晶棒或樣品 |
手動角位移 | 允許定位到+/- 0.02度精度 |
配備PSEL CCD 背反射勞厄X-RAY 探測器:
有效輸入探測面約: 155*105 mm
*小輸入有效像素尺寸83um,1867*1265 像素陣列
可選曝光時間從1ms 到35分鐘
芯片上像素疊加允許以犧牲分辨率為代價增強靈敏度
自動背景扣除模式
16位高精度采集模式
12位快速預覽模式
PSEL 勞厄影像采集處理專業(yè)軟件
勞厄影像校準軟件:
自動檢測衍射斑點,并根據(jù)參考晶體計算斑點位置;
根據(jù)測角儀和晶體軸自動計算定向誤差(不需要手動擬合扭曲的圖形)
以CSV格式保存角度測量值,以進一步保證質(zhì)量的可追溯性;
頂部到底部的終端用戶菜單,允許資深結晶學用戶自行逐步確認定位程序;
基于Python的軟件,允許使用套接字命令對現(xiàn)有軟件/系統(tǒng)進行遠程訪問控制;
系統(tǒng)附件包括:
勞厄X-RAY 探測器
勞厄校準軟件
高亮度X-RAY 發(fā)生器
電動/手動 角位移臺& 高精度位移臺;
樣本定位/視頻監(jiān)控 攝像頭;
激光距離傳感器/操縱桿
典型勞厄衍射應用圖樣:
勞厄單晶取向測試系統(tǒng)應用方向:
探測器材料: HgCdTe/CdTe, InGaAs, InSb;
窗口玻璃材料&壓電/鐵電陶瓷: Al2O3, Quantz,LiNbO3
金屬合金: 鎢,鉬,鎳基合金;
激光晶體材料: YAG, KTP, GaAs
薄膜/半導體基地材料: AIN, InP SiC;
磁性&超導材料: BCO/BSCCO/HBCCO, FeSe, NbSn/NbTi
閃爍體材料: BGO/LYSO, CdWO4, BaF2/CaF2;
暫無數(shù)據(jù)!