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電子制造工業(yè)中，對煙囪排放的氯化物、氟化物、苯系物等氣體監(jiān)測非常重要，OPSIS 擁有專為電子廠這種環(huán)境而設(shè)計的連續(xù)排放監(jiān)測系統(tǒng)。為了提高在全世界許多應(yīng)用場所的可靠性和運轉(zhuǎn)性能，OPSIS可以滿足電子芯片制造業(yè)多樣化的需求。采用DOAS (差分吸收光譜法)的Opsis系統(tǒng)是一條開放式光徑，無須接觸被監(jiān)測氣體的監(jiān)測系統(tǒng)，就不會受廢氣排放過程中的氣體、高溫和微粒的影響。一套系統(tǒng)可以實時在線地監(jiān)測用戶指定的一系列物質(zhì)， OPSIS系統(tǒng)具有高準確性、高可靠性和很強的數(shù)據(jù)采集處理能力。OPSIS同樣可以滿足過程控制對響應(yīng)速度的要求。

　　一套OPSIS 系統(tǒng)可以監(jiān)測多種物質(zhì)。通常監(jiān)測的氣體，諸如為了符合電子廠的某些特別需求，監(jiān)測HCL、HF、CL2、苯、甲苯、二甲苯、……

應(yīng)用原理：差分吸收光譜法（DOAS）

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：

監(jiān)測項目：

序號	監(jiān)測項目	分析方法	供應(yīng)廠商
1	HCL	DOAS	瑞典 OPSIS
2	HF	DOAS	瑞典 OPSIS
3	CL2	DOAS	瑞典 OPSIS
4	苯	DOAS	瑞典 OPSIS
5	甲苯	DOAS	瑞典 OPSIS
6	二甲苯	DOAS	瑞典 OPSIS
7	……

技術(shù)特點：

• 無需抽取采樣，不改變工況條件，在線實時連續(xù)測量
• TÜV，MCERTS 等國際認證
• 煙道光路上平均濃度，代表性強
• 多氣體，多光路技術(shù)（反應(yīng)時間快）
• 使用壽命長，維護量小，運營成本低（**耗件氙燈）
• 一年只需要校準 1-2 次
• 技術(shù)成熟，應(yīng)用范圍廣

主要設(shè)備：

DOAS 分析儀	DOAS 接收/發(fā)射端

您是不是找？

環(huán)境空氣苯系物在線監(jiān)測系統(tǒng)，可參見“苯系物氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)”