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電子制造工業(yè)中，對(duì)煙囪排放的氯化物、氟化物、苯系物等氣體監(jiān)測(cè)非常重要，OPSIS 擁有專為電子廠這種環(huán)境而設(shè)計(jì)的連續(xù)排放監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。為了提高在全世界許多應(yīng)用場(chǎng)所的可靠性和運(yùn)轉(zhuǎn)性能，OPSIS可以滿足電子芯片制造業(yè)多樣化的需求。采用DOAS (差分吸收光譜法)的Opsis系統(tǒng)是一條開(kāi)放式光徑，無(wú)須接觸被監(jiān)測(cè)氣體的監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，就不會(huì)受廢氣排放過(guò)程中的氣體、高溫和微粒的影響。一套系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)在線地監(jiān)測(cè)用戶指定的一系列物質(zhì)， OPSIS系統(tǒng)具有高準(zhǔn)確性、高可靠性和很強(qiáng)的數(shù)據(jù)采集處理能力。OPSIS同樣可以滿足過(guò)程控制對(duì)響應(yīng)速度的要求。

　　一套OPSIS 系統(tǒng)可以監(jiān)測(cè)多種物質(zhì)。通常監(jiān)測(cè)的氣體，諸如為了符合電子廠的某些特別需求，監(jiān)測(cè)HCL、HF、CL2、苯、甲苯、二甲苯、……

應(yīng)用原理：差分吸收光譜法（DOAS）

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：

監(jiān)測(cè)項(xiàng)目：

序號(hào)	監(jiān)測(cè)項(xiàng)目	分析方法	供應(yīng)廠商
1	HCL	DOAS	瑞典 OPSIS
2	HF	DOAS	瑞典 OPSIS
3	CL2	DOAS	瑞典 OPSIS
4	苯	DOAS	瑞典 OPSIS
5	甲苯	DOAS	瑞典 OPSIS
6	二甲苯	DOAS	瑞典 OPSIS
7	……

技術(shù)特點(diǎn)：

• 無(wú)需抽取采樣，不改變工況條件，在線實(shí)時(shí)連續(xù)測(cè)量
• TÜV，MCERTS 等國(guó)際認(rèn)證
• 煙道光路上平均濃度，代表性強(qiáng)
• 多氣體，多光路技術(shù)（反應(yīng)時(shí)間快）
• 使用壽命長(zhǎng)，維護(hù)量小，運(yùn)營(yíng)成本低（**耗件氙燈）
• 一年只需要校準(zhǔn) 1-2 次
• 技術(shù)成熟，應(yīng)用范圍廣

主要設(shè)備：

DOAS 分析儀	DOAS 接收/發(fā)射端

您是不是找？

環(huán)境空氣苯系物在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，可參見(jiàn)“苯系物氣體在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)”