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C12562 納米膜厚測(cè)量?jī)x系列
特性
可測(cè)量10nm薄膜
縮短測(cè)量周期（頻率高達(dá)100Hz）
增強(qiáng)型外部觸發(fā)（適合高速測(cè)量）
涵蓋寬波長(zhǎng)范圍（400 nm到1100 nm）
軟件增加了簡(jiǎn)化測(cè)量功能
可進(jìn)行雙面分析
不整平薄膜精確測(cè)量
分析光學(xué)常數(shù)（n，k）
可外部控制
參數(shù)
| 型號(hào) | C12562-02 |
| 可測(cè)膜厚范圍（玻璃） | 10 nm to 100 μm*1 |
| 測(cè)量可重復(fù)性（玻璃） | 0.02 nm*2 *3 |
| 測(cè)量準(zhǔn)確度（玻璃） | ±0.4 %*3 *4 |
| 光源 | 鹵素?zé)?/td> |
| 測(cè)量波長(zhǎng) | 400 nm to 1100 nm |
| 光斑尺寸 | Approx. φ1 mm*3 |
| 工作距離 | 10 mm*3 |
| 可測(cè)層數(shù) | *多10層 |
| 分析 | FFT 分析，擬合分析，光學(xué)常數(shù)分析 |
| 測(cè)量時(shí)間 | 3 ms/點(diǎn)*5 |
| 光纖接口形狀 | FC |
| 外部控制功能 | RS-232C， Ethernet |
| 電源 | AC100 V to 240 V， 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | 80W |
*1：以 SiO2折射率1.5來(lái)轉(zhuǎn)換
*2：測(cè)量400 nm 厚SiO2 薄膜的標(biāo)準(zhǔn)偏差
*3：取決于所使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡的放大率
*4：可保證的測(cè)量范圍列在VLSI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證書(shū)中
*5：連續(xù)數(shù)據(jù)采集時(shí)間不包括分析時(shí)間
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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