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對應(yīng)多種尺寸組合
我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對應(yīng)小于150 mm的晶圓)的3種工具顯微鏡型號。除此以外,您還可以根據(jù)檢查模式,選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"LMB型"。
晶圓尺寸•厚度對應(yīng)表
薄片檢查
對應(yīng)薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90工具顯微鏡搭載的新型搬送手臂的設(shè)計(jì)可以搬運(yùn)整盒25枚90 μm的極薄晶圓。
背面宏觀360゜旋轉(zhuǎn)
宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。
利用360゜旋轉(zhuǎn)功能,完全可以目視檢查整個(gè)晶圓(包括邊緣)。此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓**傾斜30゜進(jìn)行觀察。
為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,AL120工具顯微鏡可以登記多達(dá)10個(gè)檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度??焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時(shí)登記的有缺陷的對應(yīng)SLOT,便于操作者再次確認(rèn)。
AL120工具顯微鏡使用非接觸光學(xué)定位、查找和對齊缺口/平面,可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。
為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計(jì)。
在安全性和人機(jī)工學(xué)上通過了SEMI S2/S8檢測,同時(shí),在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。
AL120工具顯微鏡搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過各種觀測方法,包括:明視場、暗視場、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實(shí)現(xiàn)了**的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制,AL120工具顯微鏡還可以應(yīng)用到其他型號的顯微鏡上。
手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率,標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。
可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動載物臺,進(jìn)一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點(diǎn)位置。
暫無數(shù)據(jù)!