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瞬態(tài)(近紅外)激光波前畸變檢測干涉儀是將空間位相調(diào)制的共路剪切干涉技術(shù)與數(shù)字化波面高新計算技術(shù)相結(jié)合研制的新穎干涉系統(tǒng)，是浙江大學(xué)光電系現(xiàn)代光學(xué)儀器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、楊甬英等教授集多年基礎(chǔ)、數(shù)年攻關(guān)完成的目前國內(nèi)首臺利用干涉方法僅需單幅干涉圖就可以高分辨率檢測各類高、低功率的脈沖激光、連續(xù)光波前畸變、檢測各類高精度大口徑精密表面的面形、動態(tài)檢測各種流體的變化等。儀器抗噪、抗干擾性好特別適合于現(xiàn)場的實(shí)時檢測。波前及面形的檢測分辨率高，可高精度測量較大的波前畸變量，可以用于瞬態(tài)圖象高速采集及檢測。波前檢測軟件輸出信息量豐富、可適用于不同波段的可見光、紅外波段的檢測。經(jīng)權(quán)威單位與ZYGO干涉儀比對測試，近紅外脈沖激光波前畸變檢測的波前均方根已優(yōu)于1/15波長。瞬態(tài)激光波前畸變檢測干涉儀已達(dá)到國際先進(jìn)、國內(nèi)**的**。

儀器技術(shù)指標(biāo)：

1、應(yīng)用波長：從紫外、可見光至中遠(yuǎn)紅外波段（波長可根據(jù)用戶不同要求確定）；

2、光束接收口徑：F10mm ～用戶任定口徑；

3、儀器精度及重復(fù)性：波前均方根優(yōu)于1/15波長；

4、測量范圍：波前畸變檢測量可達(dá)50 mm；

5、可用于脈沖光、連續(xù)光、各類精密表面面形測量：測量脈沖激光的脈寬可達(dá)1ns；

6、光學(xué)系統(tǒng)具有高激光損傷閾值；

7、高分辨率數(shù)據(jù)采集系統(tǒng):科學(xué)級CCD相機(jī)，空間分辨率至1024×1024以上或用戶定；

8、儀器利用共路剪切干涉技術(shù)，抗振動性好，可放于任何工作臺現(xiàn)場使用；

9、光束波前診斷軟件包：

給出檢測波前位相（可以是光束波前、面形或流體的形變等）的三維圖形、等高圖、波前畸變的PV 值、均方根值、波面梯度值等；

給出表征光束能量分散度的Streh1比；光學(xué)系統(tǒng)象差的評價參數(shù)OTF和PSF；

軟件具有友好的圖形工作界面，工作于Windows 2000以上平臺，軟件有各類數(shù)據(jù)圖象及數(shù)據(jù)輸出功能。

應(yīng)用范圍：

本儀器是動、靜態(tài)皆可檢測的系統(tǒng)，可應(yīng)用于航空、航天、航海及國民經(jīng)濟(jì)諸多領(lǐng)域：

1. 配備高速的CCD與圖象轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，可以檢測具有較大畸變、快速變化的氣體折射率密度場、高速繞流流場，獲取高速飛行體在各個瞬間狀態(tài)的三維流場的相關(guān)參數(shù)。并且可以應(yīng)用于流體顯示技術(shù)、空氣動力學(xué)方面的研究。

2. 良好的抗振性特別適合于在車間、現(xiàn)場進(jìn)行各類精密表面面形的分析測量、不同尺寸的光學(xué)元件、硅片、金屬表面面形、非球面等各類元件的精密檢測。

3. 可以檢測各類高能激光系統(tǒng)的靜態(tài)、動態(tài)波前畸變，特別為1053nm的近紅外脈沖波前檢測提供一個高精度、高分辨率的檢測結(jié)果。系統(tǒng)配備標(biāo)準(zhǔn)近紅外光源，可以檢測1053nm 波段的各類光學(xué)材料的透射特性參數(shù)。

圖2是系統(tǒng)軟件輸出界面。

圖3是已實(shí)際用于納秒級高能脈沖波前檢測的干涉圖。

圖4是納秒級高能脈沖波前重構(gòu)的三維圖。