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加拿大Resonance有限公司的傳輸和反射評(píng)估系統(tǒng)設(shè)計(jì)是將真空紫外線(VUV)或者紫外線(UV)輻射到目標(biāo)樣品，測(cè)量目標(biāo)的反射、傳輸。 該系統(tǒng)包括了一個(gè)從115納米到400納米的氘燈，一個(gè)200毫米的焦距的真空單色儀，帶有PC控制的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器，一個(gè)可以從115到320納米的光管(PMT)，LabviewTM軟件和控制器。
該系統(tǒng)有一個(gè)resonance公司提供.，D2ArCML氫光源，提供的輻射范圍從115納米到400納米，光子流量大約為2 x 10E15個(gè)光子/秒/str。這盞燈是用一個(gè)SMA螺紋適配器安裝的，它位于單色儀的入口狹縫處。
Resonance VM200 掃描單色儀
VM200單色儀(真空單色儀有200毫米焦距)包含一個(gè)凹的全息光柵，它有一個(gè)vuv/uv增強(qiáng)的氟化鎂涂層，這個(gè)光柵有以下規(guī)格:
No. of lines/mm: 1200 l/mm
Size: 40 x 45 mm
F #: 4.2
Input focal distance: 200 mm Output focal distance: 187.9 mm Deviation angle: 64 degrees
Coating: Al/MgF2 optimized for 100 to 300 nm
Spectral range of best operation: 115 – 300
Total spectral Range: 25 to 1000 (gold coating recommended below 100 nm)
光柵是用一個(gè)**編碼的等級(jí)驅(qū)動(dòng)器(AEGD)旋轉(zhuǎn)的。它安裝在一個(gè)桶里(光柵是用戶可互換的)，并且光譜儀有兩個(gè)長(zhǎng)臂，在末端安裝了入口和出口長(zhǎng)度可調(diào)節(jié)的縫。
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