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高真空的掃描電鏡，聚焦離子束FIB系統(tǒng)，由于樣品，操作，油污，F(xiàn)IB的氣體注入系統(tǒng)帶來的碳氫污染物會累積在樣品室表面，以及探測器包括EDX窗口，進而影響系統(tǒng)分辨率，清晰度，真空度以及穩(wěn)定性。
Evactron等離子清洗機適用于任何掃描電鏡，她可以很好的解決這些困擾電鏡使用者的污染問題.
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