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德國MLase公司由準分子激光***Tuilaser公司前主要技術和領導負責人合作成立，其技術和管理源于Tuilaser公司，MLase公司專注于高品質的準分子激光的研發(fā)和制造，其產品廣泛應用于醫(yī)療、科研和工業(yè)應用。
主要技術參數：
型號 | MLI-500 | MLI-500 |
類型 | 準分子激光器 | 準分子激光器 |
工作物質 | ArF | KrF |
波長 | 193nm | 248nm |
重復頻率（**） | 500Hz | 500Hz |
高電壓開關技術 | 固體開關 | 固體開關 |
能量 | ||
**能量 | >14mJ | >18mJ |
穩(wěn)定能量 | >10mJ | >14mJ |
能量不穩(wěn)定度 | <3% | <3% |
平均功率（穩(wěn)定能量、**重頻） | 5W | 7W |
脈沖寬度 | ||
脈沖寬度（FWHM，典型） | 5-10ns | 5-10ns |
光束數據 | ||
光束尺寸（VxH） | 6mmx3mm | 6mmx3mm |
光束發(fā)散角（VxH） | 2mradx1mrad | 2mradx1mrad |
壽命 | ||
光學的壽命（穩(wěn)定的能量） | >200Mio | >500Mio |
管子壽命（脈沖） | >2Billion | >2Billion |
冷卻 | ||
冷卻 | 被動風冷 | 被動風冷 |
占空循環(huán) | 50%，5min on | 50%，5min on |
尺寸和重量 | ||
設備尺寸(LxWxH) | **650x315x445mm | **650x315x445mm |
設備重量 | <66kg | <66kg |
電力供應 | **2000VA，單相 | **2000VA，單相 |
MLase準分子激光器應用：
1、準分子眼科醫(yī)療；
2、布拉格光柵（FBG）刻寫；
3、掩膜版檢查；
4、脈沖激光沉積；
5、鉆石雕刻；
6、微機械；
7、光譜學研究
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