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A4 series

節(jié)能干燥多級羅茨泵，適用于所有半導體和涂層應用。

新一代苛刻的工藝流程泵

普發(fā)真空引入了新的A4系列。半導體生產(chǎn)中苛刻的工作流程總是給真空泵帶來新的挑戰(zhàn)。基于已證明和節(jié)能的多階段根系技術，A4系列提供了一系列的干泵解決方案，不同的泵送速度從100到2300 m3/h。與以往的工藝泵相比，為了滿足20納米技術節(jié)點和以下的**要求，腐蝕和副產(chǎn)物的冷凝性能得到了顯著的提高。在延長的工藝壽命與低能耗相關聯(lián)的情況下，A4系列泵是在市場中成本*低的。

為多個應用程序提供完整的解決方案

我們的新A4系列包括兩款產(chǎn)品線，它們完全與前系列產(chǎn)品的泵完全兼容。我們提供了三種用于非關鍵應用程序的泵模型和十種不同的模型供您選擇，用于在關鍵應用程序中進行*嚴酷的處理。

延長工作溫度范圍

泵配備有擴展溫度管理裝置，其覆蓋低至高的操作溫度，以防止泵內(nèi)的副產(chǎn)物沉積或破裂。與高溫精密軸承相關，提高了工藝的可靠性。

高耐蝕性

使用耐腐蝕材料，我們的A4X系列泵的壽命大幅度地提高了——在某些工藝過程中高達2倍。這使得這些干泵成為了化學汽相淀積和腐蝕處理的**選擇。

CVD應用***的解決方案

由于采用了多級羅茨泵技術和高效率發(fā)動機，在工藝操作中，A4系列的功耗是其同類產(chǎn)品中*低的一個。結(jié)合了閑置模式的能力和用戶友好的轉(zhuǎn)速調(diào)整，這些干泵的使用支持**的降低運營成本。

智能

A4系列配備了新的精密監(jiān)測系統(tǒng)，包括新的功能，以改善故障的發(fā)生，并防止在過程操作過程中產(chǎn)生晶片碎片。

維修費用低

通過改進粒子耐受性，腐蝕和冷凝阻力，可以延長維修間隔和泵的壽命，這意味著額外的操作成本降低了。不需要現(xiàn)場例行維護。

客戶受益

■ 高能源效率得益于多階段的技術，高效的馬達和有限的電加熱器

■ 廣泛的操作溫度范圍保護泵不受前體破裂或凝縮沉積作用的阻礙

■ 延長壽命的耐腐蝕材料

■ 高平均無故障時間和低擁有成本

■ 高粒子寬容增加正常運行時間的工具

■ 擴展的監(jiān)視功能可以更好地控制泵的狀況

■ Semi S2和UL兼容

尺寸

A 124 H A 204 H/X

A 604 H A 804 H/X

A 1204 H A 1504 H/X A 1804 H/X A 2404 H/X

抽速對比

ADH 系列

用于**工藝應用的新型高性能干式泵

新型高性能干式泵

ADH 系列專門為太陽能、半導體和 LED 市場的苛刻工藝應用而開發(fā)，為N2 和 H2 提供 600 至 4，500 m3/h 的高性能抽速。

半導體： H2 高抽速

ADH系列產(chǎn)品性能為您的工藝帶來以下優(yōu)勢：

• ALD工藝處理量：小分子氣體的高抽速效率可以允許更快的在工藝步驟之間排空腔室。

• 外延和EUV：高抽速和大流量公差符合*苛刻的工藝規(guī)范。

太陽能和LED：氫氣準備就緒

ADH系列為太陽能（a-Si 和 μ-Si PECVD）以及LED（MOCVDGaN，AlGaAs，AlGalnP...）提供**的氫氣抽送效率。

無中間維護

所有軸承均經(jīng)過了油潤滑，不需要現(xiàn)場維護。通過改善粉末耐受性和冷凝管理，實現(xiàn)了較長的維護間隔以及泵壽命延長，這意味著降低了運行成本。

對工藝副產(chǎn)物的高耐受性

泵配備雙重溫度控制的水冷回路和集成的熱氮吹掃，以防止粉末積聚或冷凝。強大的電機可以處理大量粉末，保證良好的重啟能力。此外，精心挑選的材料可以承受腐蝕性化學清洗劑。ADH系列采用全新的監(jiān)控系統(tǒng)進行升級，其功能有助于提高工藝可靠性。

用于低COO的高效率

在泵不用于該工藝時，智能模式可通過降低功率和氮消耗降低運行成本。得益于優(yōu)化的設計，泵在同級抽送性能水平中可提供市場上**的功耗。優(yōu)化的設計還可以降低發(fā)熱量，從而降低冷卻水流量。

堅固、安全

ADH系列的設計和材料能夠承受極大的靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)部壓力應力。這確保在用于運行爆炸性氣體（如氫氣和硅烷）的應用時具有**水平的安全性。

應用領域

半導體 平板顯示器 太陽能電池 LED

客戶受益

■ 高達4，500 m3/h 的抽速，在N2 和 H2 中具有較高的性能

使用50和60Hz電源具有相同的性能

■ 得益于潤滑的軸承以及對工藝副產(chǎn)品的高耐受性，具有較長的維護間隔

■ 低功率和低耗水量實現(xiàn)低COO

■ 由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)應力，從而增加了安全性

尺寸AD 600 H

AD 3060 H

AD 4560 H

抽速對比

AD 4560 H / AD 3060 H / AD 600 H 使用N₂

AD 4560 H 采用不同的羅茨泵轉(zhuǎn)速 使用N₂