參考價(jià)格
面議型號(hào)
品牌
產(chǎn)地
美國(guó)樣本
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需求描述
單位名稱(chēng)
聯(lián)系人
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儀器特點(diǎn):
腔體材料:不銹鋼,鋁,或者Bell Jar;
分子泵:70,250,500 l/sec; 一級(jí)泵:機(jī)械泵或干泵;
13.5MHz, 300-600W射頻電源;1KW直流電源;
QCM在線(xiàn)厚度測(cè)量,厚度分辨率<0.1nm;
帶有觀察窗的門(mén),方便樣品取放;
Labview軟件,PC控制;
多重密碼保護(hù);
全安全互鎖設(shè)計(jì);
選配功能:
向上,向下,側(cè)向?yàn)R射;
射頻,直流、脈沖直流濺射;
共濺射,反應(yīng)濺射;
組合濺射;
射頻、直流偏置(1000V);
基底加熱:不高于700攝氏度;
厚度監(jiān)控;
基底射頻等離子清洗;
Load-Lock,以及自動(dòng)樣品取放;
不同型號(hào)選擇:
NSC系列,立式磁控濺射系統(tǒng);
NSC系列,立式緊湊磁控濺射系統(tǒng);
NSC系列,臺(tái)式磁控濺射系統(tǒng);
雙腔體系統(tǒng),NSR系列,磁控濺射+反應(yīng)離子刻蝕(RIE);
雙腔體系統(tǒng),NSP系列,磁控濺射+PECVD;
雙腔體系統(tǒng),NST系列,磁控濺射+熱蒸發(fā);
暫無(wú)數(shù)據(jù)!
產(chǎn)品質(zhì)量
售后服務(wù)
易用性
性?xún)r(jià)比