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HERA-DLTS
高能分辨率深能級(jí)瞬態(tài)譜（DLTS）
PhysTech在1990年推出了**臺(tái)數(shù)字DLTS，隨著電腦技術(shù)的發(fā)展，使得在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行復(fù)雜計(jì)算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過(guò)程模型的基礎(chǔ)上，用各種數(shù)學(xué)模型分析測(cè)量到的瞬態(tài)過(guò)程，如傅里葉轉(zhuǎn)換、拉普拉斯轉(zhuǎn)換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS（等溫瞬態(tài)光譜）信號(hào)重疊法、溫度掃描信號(hào)重疊法（重折疊）。與其他系統(tǒng)相比，HERA-DLTS具有無(wú)法比擬的能量分辨率。
半導(dǎo)體的摻雜濃度、缺陷能級(jí)位、界面態(tài)(俘獲界面)是研究半導(dǎo)體性質(zhì)的重要手段。此設(shè)備根據(jù)半導(dǎo)體P-N 結(jié)、金－半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容（△C～t）技術(shù)和深能級(jí)瞬態(tài)譜（DLTS）的發(fā)射率窗技術(shù)測(cè)量出的深能級(jí)瞬態(tài)譜，是一種具有很高檢測(cè)靈敏度的實(shí)驗(yàn)方法，能檢測(cè)半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級(jí)及界面態(tài)。通過(guò)對(duì)樣品的溫度掃描，可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級(jí)及界面態(tài)隨溫度（即能量）分布的DLTS 譜。
特點(diǎn)：
自動(dòng)接觸檢查
常規(guī)測(cè)試和加強(qiáng)軟件
自動(dòng)電容補(bǔ)償
三終端FET電流瞬態(tài)測(cè)量
大電容和濃度范圍
靈活性高、模塊化硬件
支持各種冷卻倉(cāng)和溫度控制器
傅里葉轉(zhuǎn)換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能
DLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評(píng)價(jià)
操作模式：
C-DLTS
CC-DLTS
I-DLTS
DD-DLTS
Zerbst-DLTS
O-DLTS
FET-Analysis
MOS-Analysis
ITS（等溫瞬態(tài)光譜儀）
缺陷分析
俘獲截面測(cè)量
I/V， I/V(T)理查森標(biāo)繪圖
C/V， C/V(T)
TSC/TSCAP
PITS（光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜）
DLOS(特殊系統(tǒng))
規(guī)格：
分辨率： | 1*108 atoms/cm3 |
脈沖發(fā)生器 | |
| 電壓范圍： | ±20.4V（±102opt.） |
| 電壓分辨率: | 0．625mV |
| **電流: | ＞±15mA |
| 脈沖寬度: | 1μs-1000s |
| 快速脈沖選配 | |
| 電容表 | |
| HF信號(hào): | 100Mv@1MHz(20mV optional) |
| 范圍[pF]: | 3，30，300，3000(自動(dòng)或手動(dòng)) |
| 電容補(bǔ)償: | 0.1-3000 pF（自動(dòng)或手動(dòng)） |
| 靈敏度: | 0.01 fF |
| 電壓測(cè)量 | |
| 范圍: | ±10V |
| 靈敏度: | ＜1μV |
| 輸入電阻: | 106Ohm |
| 可提供偏壓補(bǔ)償: | |
電流測(cè)試 | |
范圍: | 5，從±1μA 到±10mA |
靈敏度: | ＜1pA |
| 可提供漏電保護(hù) | |
| 瞬態(tài)記錄 | |
樣品速率: | 2μs到2000s |
樣品數(shù)量: | 16-16384（opt.64k） |
可調(diào)節(jié)抗失真濾膜 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)冷卻倉(cāng) | |
| 溫度范圍: | 15K-450K或77K~800K |
| 溫度掃描方式： | 使用28個(gè)不同的相關(guān)功能（軟件）通過(guò)一次溫度掃描，給出28個(gè)溫度掃描信號(hào)。 |
| 典型性能（Schottky Diode，Reverse Bias Capacitance 100pF@OV） | |
| 靈敏度: | 10-7 |
| 能量精度: | HT+/-3% |
| 能量分辨率: | 10meV |
| 發(fā)射率: | 10-3/s |
Options
Constant Capacitance
Optical Excitation
Fast Pulse Interface
±100 V Option
Multi Sample Interface
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移動(dòng)端
工商已核實(shí)
