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德國樣本
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PIglide系列平臺配備伺服驅(qū)動器線性電機,電機配置帶預載的空氣軸承和集成線性編碼器。這類非接觸式零件的組合形成了一個無摩擦運動平臺,可提供讓人滿意的性能、質(zhì)量和使用壽命。
高推動力線性電機可以在幾毫秒內(nèi)將平臺驅(qū)動至高速度,高承載能力軸承可支承重達60 公斤的有效載荷。該型號中的側(cè)面相對、主動預載空氣軸承設(shè)計可實現(xiàn)任意方向上的安裝。
PIglide定位系統(tǒng)非常適用于高精度應(yīng)用,諸如半導體或平板顯示器制造中的計量、光子學和精密掃描。
由于無摩擦運動,因此不會形成顆粒,從而使平臺成為無塵室應(yīng)用的優(yōu)先選擇。
編碼器
PIglide過濾器和空氣預處理器
單軸和多軸運動控制器
XY裝置和個性化配置
電纜軌道變型
用于垂直(Z)方向的配重選項
可提供定制版
花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)
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