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勻膠機,旋涂儀,甩膠機,EZ8,安賽斯,美國進(jìn)口
根據(jù)可旋涂尺寸大小,有EZ4,EZ6,EZ8,EZ12等多個產(chǎn)品系列,產(chǎn)品詳情請登錄安賽斯(中國)有限公司官網(wǎng)查詢。
產(chǎn)品介紹:
名稱:高精密勻膠機
型號:SC100-SE
產(chǎn)地:
應(yīng)用:在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
產(chǎn)品描述:
Smart Coater®精密勻膠機是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實現(xiàn)價值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。 不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;工業(yè)級別200瓦伺服電機系統(tǒng),采用與track設(shè)備相同設(shè)計和程序,使您的工藝更具有實際應(yīng)用意義;同類產(chǎn)品中**的**達(dá)到50000RPM/S的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和極高的可重復(fù)性。
性能指標(biāo):
·主機機箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)
·旋涂程序:*多可存100組程序,每組100步,每個步驟可精確到0.1秒
·轉(zhuǎn)動速度:0-10,000rpm(更高速可選)
·旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)
·馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差< ±1rpm
·轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm
·工藝時間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時間設(shè)置精度:0.1sec
·支持wafer尺寸25px-200mm(8”圓晶)
·旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量)
產(chǎn)品優(yōu)點:
·**的內(nèi)部緊湊設(shè)計,縮小了設(shè)備的尺寸。
·7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。
·Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。
·標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。
·采用工業(yè)級別伺服電機,電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機內(nèi)部。
·機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,永不生銹,便于清洗。
·排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部(以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。
·透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時完全隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。
產(chǎn)品外型尺寸:
433mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備結(jié)構(gòu)
306mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) – 可選分體結(jié)構(gòu)
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根據(jù)可旋涂尺寸大小,有EZ4,EZ6,EZ8,EZ12等多個產(chǎn)品系列,產(chǎn)品詳情請登錄安賽斯(中國)有限公司官網(wǎng)查詢。
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