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產(chǎn)品介紹：

名稱：超聲波掃描顯微鏡

品牌：KSI

型號：V-1000E

產(chǎn)地：德國

應(yīng)用：晶圓面處分層缺陷；錫球、晶圓、或填膠中的開裂；晶圓的傾斜；各種可能之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）

應(yīng)用：

超聲波掃描顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域：

• 半導(dǎo)體電子行業(yè)：半導(dǎo)體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;

• 材料行業(yè)：復(fù)合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導(dǎo)材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等；

• 生物醫(yī)學(xué)：活體細(xì)胞動態(tài)研究、骨骼、血管的研究等

超聲波掃描顯微鏡在失效分析中的應(yīng)用：

• 晶圓面處分層缺陷

• 錫球、晶圓、或填膠中的開裂

• 晶圓的傾斜

• 各種可能之孔洞（晶圓接合面、錫球、填膠…等）

超聲波顯微鏡的在失效分析中的優(yōu)勢：

• 非破壞性、無損檢測材料或IC芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)

• 可分層掃描、多層掃描

• 實(shí)施、直觀的圖像及分析

• 缺陷的測量及缺陷面積和數(shù)量統(tǒng)計

• 可顯示材料內(nèi)部的三維圖像

• 對人體是沒有傷害的

• 可檢測各種缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等）

主要參數(shù)：

• -該型號超聲波掃描顯微鏡分析系統(tǒng)，用于研發(fā)和生產(chǎn)部門檢測特大件樣品

• - **掃描速度：2000 mm/s

• - 與其它品牌相比掃描效率高30%

• - **掃描范圍：1000mm×700mm

• - *小掃描范圍：200μm×200μm

• - 帶寬：550MHz

• - **放大倍數(shù)：250倍

• - 新型換能器