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Instec
來自液晶先驅(qū)院校美國科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置與液晶檢測設(shè)備
功能特點(diǎn) |
可編程精密控溫?？瑟?dú)立控制，也可從上位機(jī)軟件控制 |
超低的盤面溫度梯度 |
獨(dú)立的上盤面真空吸氣槽，用于吸附固定多種尺寸晶圓 |
尺寸超薄，可集成進(jìn)探針臺(tái) |
適用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圓 |
軟件可拓展性強(qiáng)，可提供LabView等語言的SDK |
#升級(jí)項(xiàng)# 性能可升級(jí)，詳見 配置列表 |
#選擇項(xiàng)#臺(tái)面為電接地 / 電懸空 |
#可選項(xiàng)#臺(tái)面開設(shè)用于起模頂桿的孔洞，可快速卸下樣品 |
#可選項(xiàng)# 下盤面的真空吸氣槽，用于將卡盤固定在實(shí)驗(yàn)平臺(tái)上 |
可做改動(dòng)或定制，詳詢上海恒商 |
技術(shù)參數(shù) | ||
通 用 參 數(shù) | 溫度分辨率 | 0.001℃ |
溫度穩(wěn)定性 | ±0.05℃(at 100℃)可提升穩(wěn)定性 | |
溫度均勻度 | ±0.1℃/cm 可升級(jí)均勻性 | |
*小控溫速度 | ±0.1℃/小時(shí) | |
溫度傳感器 | 100Ω鉑質(zhì)RTD | |
溫控方式 | 開關(guān)式PID 可升級(jí)為LVDC式PID | |
*其他技術(shù)參數(shù)請(qǐng)參考 常用型號(hào)選型表 | ||
配置列表 | ||
標(biāo) 準(zhǔn) | 溫控晶圓夾盤（圓形） | 選1 |
mK2000溫度控制器 軟件免費(fèi)，控制線有多種接口供選 | √ | |
升 級(jí) | 從 BNC同軸接口 升級(jí)為Triaxial三同軸接口 三同軸的漏電流和電噪聲更小，可測皮安級(jí)微弱信號(hào) | |
選 配 件 | 液氮制冷系統(tǒng) 包含液氮泵與液氮罐，使樣品降至負(fù)溫 | |
外殼水冷配件 用常溫水或冰水循環(huán)防止外殼過熱 | ||
固定支架 把夾盤固定在使用平臺(tái)上，防止滑動(dòng) | ||
溫控聯(lián)動(dòng)顯微鏡相機(jī) 溫度-圖像聯(lián)動(dòng)工作，附軟件 | ||
線性可變直流電源(LVDC) 裝在溫控器里，抑制電噪音 | ||
*注：產(chǎn)品有多種配置變化，詳詢上海恒商 | ||
常用型號(hào)選型表 | ||||
型號(hào)(字母T表示三軸接口) | 盤面尺寸 | 適用樣品尺寸 | 溫度范圍 | **制熱速度 |
HCC206R/HCC206RT | 150 mm | 12 mm ～ 152 mm | -100℃ ～ 200℃ | +60℃/分鐘(at 100℃) |
HCC306R/HCC306RT | -100℃ ～ 310℃ | |||
HCC208R/HCC208RT | 200 mm | 40 mm ～ 203 mm | -80℃ ～ 200℃ | +50℃/分鐘(at 100℃) |
HCC308R/HCC308RT | -80℃ ～ 310℃ | |||
HCC20CR/HCC20CRT | 300 mm | 95 mm ～ 304 mm | -60℃ ～ 200℃ | +30℃/分鐘(at 100℃) |
HCC30CR/HCC30CRT | -60℃ ～ 310℃ | |||
*注：液氮泵型號(hào)不同，制冷表現(xiàn)也會(huì)有差異，請(qǐng)悉知。 夾盤上下表面的獨(dú)立真空吸氣槽(可選);支持Swagelok接口(可選);支持頂桿孔(可選);制冷需液氮 | ||||
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