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Autosamdri-815B, Series B 臨界點(diǎn)干燥儀
特點(diǎn):
1.4”圓晶MEMS釋放后的超臨界點(diǎn)干燥儀;
2.通過微處理控制器來保證自動(dòng)處理過程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性;
3.所有內(nèi)表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮;
4.可重復(fù)設(shè)定的操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性;
5.集成自動(dòng)控溫;
6.內(nèi)置圓盤裂片保證安全;
7.可以一次干燥5片直徑為4”的圓晶,更換樣品架,也可以一次干燥5片直徑3”、2”的圓晶或8.5片邊長為10mm的方晶(提供HF兼容的樣品架);
9.靜態(tài)壓力控制模塊,自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性;
10.0.4μm內(nèi)部過濾器系統(tǒng)輸送清潔的過濾后的LCO2到樣品室;
11.內(nèi)腔有照明燈,樣品室蓋子帶觀察窗,便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài);
12.擁有高效隔熱的冷卻系統(tǒng),使系統(tǒng)能夠迅速從室溫降到將近0°C;
13.每個(gè)操作模式LED顯示,一目了然;
14.潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì);
15.標(biāo)配SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。
16.樣品室填塊可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和處理時(shí)間達(dá)到**化;
17.所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn);
規(guī)格:
1.外部尺寸:寬14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 長25.0” (63.5cm);
2.占地尺寸:寬42” (107 cm) × 深30” (76 cm);
3.樣品室尺寸:內(nèi)徑4.5” × 深1.25”,樣品室容積:326 ml;
4.溫度范圍:- 30 ℃ 至 60 ℃,壓力范圍:0 - 2000 psi;
5.LCO2的流速是通過帶游標(biāo)卡尺的微型微型計(jì)量閥門來控制;
6.120V/50-60HZ(可選其他電壓);
標(biāo)準(zhǔn)配件:
1.高壓不銹鋼LCO2管(內(nèi)襯Teflon) 3 米長;
2.外部LCO2過濾裝置,去除水/油以及顆粒(小至0.5μm),過濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接,安裝方便;
3.SOTERTM冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳,降低排氣噪音;
4.防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣;
5.內(nèi)部的不銹鋼過濾系統(tǒng)和鍍鎳的過濾系統(tǒng)共同保護(hù)線路、晶片和閥門
6.樣品室O型圈3個(gè),樣品室照明燈2個(gè),5A保險(xiǎn)絲2個(gè);
7.3個(gè)Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括4、3、2和1.25英寸;
8.直徑為4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架,樣品架HF兼容;
9.流量計(jì),可精確控制BLEED的排氣速率;
10.用戶手冊(cè);
11.所有部件一年質(zhì)保。
暫無數(shù)據(jù)!