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Automegasamdri-915B， Series B 臨界點(diǎn)干燥儀

特點(diǎn)：

1.6”圓晶MEMS釋放后的超臨界點(diǎn)干燥儀；

2.潔凈室和防靜電兼容設(shè)計(jì)；

3.通過(guò)微處理控制器來(lái)保證自動(dòng)處理過(guò)程的進(jìn)行及結(jié)果的可重復(fù)性；

4.所有內(nèi)表面均適用于液態(tài)二氧化碳、高純乙醇和丙酮；

5.可重復(fù)設(shè)定的操作參數(shù)確保了結(jié)果的可重復(fù)性；

6.每個(gè)操作模式LED顯示，一目了然;

7.集成自動(dòng)控溫；

8.內(nèi)置圓盤裂片保證安全；

9.可以一次干燥5片直徑為6”的圓晶，更換樣品架，也可以一次干燥5片直徑4”、3”、2”的圓晶或5片邊長(zhǎng)為10mm的方晶（提供HF兼容的樣品架）；

10.靜態(tài)壓力控制模塊，自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性；

11.0.4μm內(nèi)部過(guò)濾器系統(tǒng)輸送清潔的過(guò)濾后的LCO2到樣品室；

12.內(nèi)腔有照明燈，樣品室蓋子帶觀察窗，便于觀察樣品室內(nèi)部狀態(tài)；

13.擁有高效隔熱的冷卻系統(tǒng)，使系統(tǒng)能夠迅速?gòu)氖覝亟档綄⒔?°C；

14.標(biāo)配SOTER^TM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳。

15.樣品室填塊可以調(diào)整樣品室內(nèi)徑到4”、3”，2”，1.25”，使LCO2的使用效率和處理時(shí)間達(dá)到**化;

16.所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)；

規(guī)格：

1.外部尺寸：寬14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 長(zhǎng)25.0” (63.5cm)；

2.占地尺寸：寬42” (107 cm) × 深30” (76 cm)；

3.樣品室尺寸：內(nèi)徑6.50” × 深1.25”，樣品室容積：679 ml;

4.溫度范圍：- 30 ℃ 至 60 ℃，壓力范圍：0 - 2000 psi；

5.LCO2的流速是通過(guò)帶游標(biāo)卡尺的微型微型計(jì)量閥門來(lái)控制；

6.120V/50-60HZ(可選其他電壓)；

標(biāo)準(zhǔn)配件：

1.高壓不銹鋼LCO2管（內(nèi)襯Teflon） 3 米長(zhǎng)；

2.外部LCO2過(guò)濾裝置，去除水/油以及顆粒（小至0.5μm），過(guò)濾裝置可預(yù)先與LCO2管連接，安裝方便；

3.SOTERTM冷凝器，分離廢棄乙醇和廢氣二氧化碳，降低排氣噪音；

4.防靜電排氣管，用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時(shí)的排氣；

5.內(nèi)部的不銹鋼過(guò)濾系統(tǒng)和鍍鎳的過(guò)濾系統(tǒng)共同保護(hù)線路、晶片和閥門

樣品室O型圈3個(gè)，樣品室照明燈2個(gè)，5A保險(xiǎn)絲2個(gè)；

6.4個(gè)Teflon樣品室填塊，使得樣品室直徑包括6”、4、3、2和1.25英寸;

7.直徑為6、4、3、2英寸圓晶的樣品架和邊長(zhǎng)為10 mm方晶樣品架，樣品架HF兼容；

8.流量計(jì)，可精確控制BLEED的排氣速率；

9.用戶手冊(cè)；

10.所有部件一年質(zhì)保。