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日本分光制的橢圓計(jì)配有日本分光**產(chǎn)的PEM雙重鎖定方式和光伺服?光參考方式，實(shí)現(xiàn)高速性和高安定性。由于偏光素子的軸配置適合特別薄的膜和微小的偏光測(cè)量，所以主要用于向高集積化和高精細(xì)化發(fā)展的半導(dǎo)體及高機(jī)能光學(xué)薄膜等材料的評(píng)價(jià)。
◆規(guī)格
型號(hào) | M-210 | M-220 | M-230 | M-240 | M-550 | ELC-300 |
測(cè)量方法 | PEM雙重鎖定方式、光伺服/光參照控制方式 | |||||
分光器 | - | 雙單色器自動(dòng)波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)裝置 | 雙單色器 （260～900nm）單單色器 （900～1700nm）自動(dòng)波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)裝置 | 單單色器自動(dòng)波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)裝置 | 雙單色器自動(dòng)波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)裝置 | |
測(cè)量波長(zhǎng) | He-Ne激光 (632.8nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260～860nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (240～700nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (26～900nm)鹵素?zé)?/span> (900～1700nm) | Xe光源 (350～800nm) | He-Ne激光 (632.8nm) Xe光源 (260～860nm) |
入射 角范圍 | 40゜～ 90゜連續(xù)自動(dòng)設(shè)定（0.01゜間隔） | 45゜～ 90゜連續(xù)自動(dòng)設(shè)定（0.01゜間隔） | 40゜～ 90゜連續(xù)自動(dòng)設(shè)定（0.01゜間隔） | |||
膜厚測(cè)量范圍 | 0～99999? | |||||
測(cè)量時(shí)間 | 1msec以上 | 20μsec～16sec | ||||
測(cè)量準(zhǔn)確度* | 屈折率 ±0.01 | |||||
膜厚 ±1? | ||||||
消衰係數(shù) ±0.01 | ||||||
*準(zhǔn)確度是指測(cè)量時(shí)間100msec以上。另外、根據(jù)表面狀態(tài)、膜質(zhì)不同準(zhǔn)確度也不同。 | ||||||
樣品室 | 樣品垂直放 | 樣品水平放 | 樣品垂直放 | |||
檢測(cè)器 | 檢光子（Glan-Taylor棱鏡）紫外可見(jiàn)區(qū)域：光電子倍増管 近紅外區(qū)域：InGaAs-PIN光電二極管（M-240） | |||||
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