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FEI Quanta 系列包括六款可變壓力和環(huán)境掃描電子顯微鏡 (ESEM)。所有這些產(chǎn)品均可滿足工業(yè)工藝控制實驗室、材料科學實驗室和生命科學實驗室的多種樣本和成像要求。
Quanta 系列掃描電子顯微鏡屬于多功能、高性能儀器,并具有高真空、低真空和 ESEM 三種模式,能夠處理的樣本類型之多堪稱 SEM 系統(tǒng)之*。所有 Quanta SEM 系統(tǒng)均可配備分析系統(tǒng),比如能量色散譜儀、X 射線波長色散譜儀以及電子背散射衍射系統(tǒng)。此外,場發(fā)射電子槍 (FEG) 系統(tǒng)含有一個用于明場和暗場樣本成像的 S/TEM 檢測器。SEM 系統(tǒng)中的另一個可變配置是電動工作臺的尺寸(分 50mm、100mm 和 150mm 三種)以及電動 Z 軸行程的大小(分別為 25mm、60mm 和 65mm)。Quanta 650 和 650 FEG 都設(shè)計了大標本室,能夠分析和瀏覽大型標本
隨著 Quanta 50 系列的推出,現(xiàn)在的 Quanta SEM 系列更為靈活。對于材料科學來說,這些全新儀器可滿足對眾多類型材料進行研究以及表征結(jié)構(gòu)和成分的需求。FEI Quanta™ 50 系列十分靈活,功能多樣,能夠應(yīng)對當今眾多研究領(lǐng)域的挑戰(zhàn)。觀測任意樣本并獲得所有數(shù)據(jù) - 表面和成分圖像可與配件結(jié)合起來,確定材料屬性和元素成分。
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