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        激光共聚焦掃描顯微鏡
        激光共聚焦掃描顯微鏡

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        測量精度高;方便快捷地分析樣品的表面形貌和粗造度;分辨率高,景深大,清晰觀察不同焦平面上的圖像信息;共焦切層,三維重組,多角度觀察;對不同時間,不同位置的圖像進行無縫拼接,再現(xiàn)性強;可獲得亞微米級的線寬、面積、體積、臺階、線與面粗造度,透明膜厚等幾何參數(shù)測量數(shù)據(jù)。

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