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貨號: | LiteScope™ |
供應(yīng)商: | 廣州科適特科學(xué)儀器有限公司 |
現(xiàn)貨狀態(tài): | 三個月 |
保修期: | 一年 |
數(shù)量: | 不限 |
規(guī)格: | LiteScope™ |
LiteScope™的設(shè)計還使其可以與其他SEM配件結(jié)合使用聚焦離子束(FIB)或氣體注入系統(tǒng)(GIS)用于制造納米/微結(jié)構(gòu)和表面改性。在這種組合中,LiteScope™可對制造的結(jié)構(gòu)進行快速簡便的3D檢測。
此外,LiteScope™開辟了一個全新的測量技術(shù)領(lǐng)域,可實現(xiàn)相關(guān)顯微鏡,即所謂的相關(guān)探針和電子顯微鏡(CPEM)。 CPEM技術(shù)是市場上首創(chuàng)的技術(shù)。它可以在同一個地方進行SPM和SEM測量,同時,使用相同的協(xié)調(diào)系統(tǒng)。只有CPEM技術(shù)才能為您帶來SPM和SEM技術(shù)相關(guān)成像的全部優(yōu)勢。
特點
LiteScope™可提高性能的SEM升級
可作為現(xiàn)有顯微鏡的插件或作為新的SEM使用
獨特的相關(guān)探針和電子顯微鏡(CPEM)技術(shù)
復(fù)雜的表面表征
自感應(yīng)探頭,無需光學(xué)檢測,無需激光調(diào)整
LiteScope™易于安裝到SEM的樣品臺上/從樣品臺中取出
兼容FIB,GIS,EDX等配件
在傾斜位置(角度0°-60°),*小工作距離5毫米
可伸縮的測量頭可釋放樣品周圍的空間
市售探針,種類繁多測量模式
快速簡便地更換探頭和樣本
用戶友好的軟件,在網(wǎng)絡(luò)瀏覽器中操作,輕松遠程訪問
LiteScope™也可作為獨立的SPM使用
NenoVision開發(fā)了獨特的技術(shù)-相關(guān)探針和電子顯微鏡(**申請中)-用于相關(guān)成像。CPEM能夠通過SEM和SPM確定樣品區(qū)域的表面特征同時使用相同的協(xié)調(diào)系統(tǒng)。
納米尺度樣品的特征。
它可以用作獨立的顯微鏡
或與電子束結(jié)合,這是它的**優(yōu)點。 LiteScope™通常在高真空下操作,但可根據(jù)要求適用于超高真空。
LiteScope™連接到SEM / FIB顯微鏡的樣品臺,從而可以根據(jù)用戶的喜好進行操作。 LiteScope™能夠測量
在傾斜位置,例如用于與FIB技術(shù)同時使用。在這種情況下,用戶將會欣賞對接選項,從而可以將整個SPM探針縮回并隱藏在LiteScope™的主體中。
機械設(shè)計在剛性和適當(dāng)?shù)墓舱耦l率方面尊重所有基本結(jié)構(gòu)要求。結(jié)果是高度穩(wěn)定的機架,機械振動水平極低,可產(chǎn)生極其可靠的結(jié)果。
設(shè)計亮點
薄型和小尺寸可集成在SEM / FIB儀器中
易于集成的程序 - 安裝在SEM / FIB操縱器上
通用探頭支架適用于多種SPM方法和簡單的“即插即用”組裝
樣品傾斜高達60°
優(yōu)化的機械設(shè)計,具有極低的振動水平(剛性和適當(dāng)?shù)墓舱耦l率),集成前置放大器(盡可能消除信號失真/噪聲)
總重量 | 1公斤 | |
真空工作范圍 | 105Pa至10-5Pa | |
掃描范圍X,Y,Z | 100 μm × 100 μm × 100 μm | |
**樣本量 | 10毫米×10毫米 | |
**樣本高度 | 8毫米 | |
解析度 | 高達0.4納米 |
獨特的CPEM技術(shù)及其相關(guān)成像技術(shù)可應(yīng)用于要求苛刻的領(lǐng)域,使用常規(guī)SEM進行成像可能會因與化學(xué)對比度相關(guān)的表面污染而干擾表面形貌而提供誤導(dǎo)信息。CPEM是實時準確分析和解釋圖像的理想解決方案。
材料科學(xué)和納米技術(shù)領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究需要使用不同的分析方法對表面和納米結(jié)構(gòu)進行詳細和全面的分析。這是基于充分理解原則的需要
納米級范圍。 LiteScope™是這些科學(xué)應(yīng)用的理想工具。
對于諸如FIB和GIS之類的技術(shù)而言,其直接優(yōu)勢是顯而易見的,其中結(jié)構(gòu)直接在SEM中形成。新建結(jié)構(gòu)的3D分析工具至關(guān)重要。此外,配備CPEM和其他成像模式的LiteScope™可以對制備的結(jié)構(gòu)和納米器件進行復(fù)雜的分析。
在工業(yè)質(zhì)量控制和研發(fā)實驗室中,LiteScope™有助于識別表面結(jié)構(gòu),地形,表面粗糙度,污染等。這些能力受到需要驗證質(zhì)量的工業(yè)客戶的高度重視。表面,因此可以節(jié)省因故障造成的損失。
LiteScope™可應(yīng)用于廣泛的行業(yè),包括那些領(lǐng)域的行業(yè)半導(dǎo)體,太陽能電池,存儲器件,MEMS和NEMS。這些領(lǐng)域比其他領(lǐng)域更需要納米級分析。如今,納米電路和納米器件的復(fù)雜分析要求越來越高。 LiteScope™通過實時擴展樣品的3D成像和多重表征來滿足這些需求。
暫無數(shù)據(jù)!