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除此之外，為了能更好的應(yīng)對(duì)不同樣品的測(cè)試和保持并發(fā)揮出高性能，還對(duì)用戶輔助工能進(jìn)行了強(qiáng)化，如信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)的操作輔助功能，維護(hù)輔助功能等。
主要特點(diǎn)
搭載了色差極小的適合低加速電壓高分辨率觀察的冷場(chǎng)電子槍
跟前代機(jī)型相比分辨率大約提高了20%（Regulus8220/8230/8240：0.9 nm/1 kV，Regulus8100：1.1 nm/1 kV）
**倍率從原來(lái)的100萬(wàn)倍提高到200萬(wàn)倍*1
用戶輔助功能，幫助用戶把儀器的高性能完全發(fā)揮出來(lái)
主要參數(shù)
| 名稱 | Regulus8100 | Regulus8240/8230/8220 |
| 二次電子分辨率 | 0.8 nm（加速電壓 15 kV） | 0.7 nm（加速電壓 15 kV） |
| 1.1 nm（著陸電壓 1 kV）*2 | 0.9 nm（著陸電壓 1 kV）*2 | |
| 加速電壓 | 0.5~30 kV | 0.5~30 kV |
| 著陸電壓*2 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV |
| 倍率 | 20~1，000，000倍*3 | 20~2，000，000倍*3 |
| 馬達(dá)臺(tái)控制 | 3軸自動(dòng)*? | 5軸自動(dòng) |
*1 僅限 Regulus8240/8230/8220
*2 減速模式觀察
*3 127 mm × 95 mm 視野的畫面倍率
*? 5軸馬達(dá)臺(tái)為選配項(xiàng)
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移動(dòng)端
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