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·PR500/510等離子灰化機(jī)
高頻輸出 50~500W，反應(yīng)腔 Φ215×305mm
低溫等離子·經(jīng)典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510），提高了操作性及安全性，是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
用途
·去除光刻膠
·部品清洗
·界面活性處理
·微研磨
·硅晶圓，玻璃基板對應(yīng)
特征
·大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
·小型一體化設(shè)計
·操作簡單的觸摸屏方式（PR510型）
規(guī)格
型號 | PR500 | PR510 | |
模式 | DP模式，桶型 | ||
控制部 | 高頻輸出功率 | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
同調(diào)方式 | 自動協(xié)調(diào) | ||
反應(yīng)部 | 反應(yīng)腔 | 石英 Φ215×305mm | |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（O2／CF4） | ||
控制 | 手動 | 觸摸屏自動控制 | |
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 | ||
外形尺寸 | W438×D520×H760mm | 參照規(guī)格書 | |
重量 | 約60kg | 參照規(guī)格書 | |
電源 | 單相AC100V 9A | 三相AC200V 8A | |
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