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        YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī)PR500/510
        YAMATO雅馬拓等離子灰化機(jī)PR500/510

        參考價(jià)格

        面議

        型號(hào)

        品牌

        產(chǎn)地

        日本

        樣本

        暫無
        柜谷科技發(fā)展(上海)有限公司

        會(huì)員

        |

        第2年

        |

        生產(chǎn)商

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        ·PR500/510等離子灰化機(jī)

        高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm

        低溫等離子·經(jīng)典桶型。

        PR500:手動(dòng)控制 PR510:自動(dòng)觸摸屏控制

        低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

        用途

        ·去除光刻膠

        ·部品清洗

        ·界面活性處理

        ·微研磨

        ·硅晶圓,玻璃基板對(duì)應(yīng)

        特征

        ·大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔

        ·小型一體化設(shè)計(jì)

        ·操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)

        規(guī)格

        型號(hào)

        PR500

        PR510

        模式

        DP模式,桶型

        控制部

        高頻輸出功率

        Max500W

        頻率

        13.56MHz

        同調(diào)方式

        自動(dòng)協(xié)調(diào)

        反應(yīng)部

        反應(yīng)腔

        石英 Φ215×305mm

        反應(yīng)氣體

        2系統(tǒng)(O2/CF4)

        控制

        手動(dòng)

        觸摸屏自動(dòng)控制

        配管材質(zhì)

        不銹鋼、特氟龍

        外形尺寸

        W438×D520×H760mm

        參照規(guī)格書

        重量

        約60kg

        參照規(guī)格書

        電源

        單相AC100V 9A

        三相AC200V 8A

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        產(chǎn)品質(zhì)量

        10分

        售后服務(wù)

        10分

        易用性

        10分

        性價(jià)比

        10分
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