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Stage-Base™ 450

主動振動及運(yùn)動隔離系統(tǒng)

為了滿足放置在振動隔離系統(tǒng)上的半導(dǎo)體設(shè)備的**挑戰(zhàn)的要求，TMC繼續(xù)推進(jìn)技術(shù)進(jìn)步來開發(fā)新的解決方案。Stage-Base™450是新一代的集成音圈技術(shù)的主動硬裝壓電陶瓷振動消除系統(tǒng)。只有TMC可以提供這種帶有用于運(yùn)動平臺振動隔離的音圈電機(jī)的獨(dú)特先進(jìn)低頻串行隔振技術(shù)。

Stage-Base 450是專門設(shè)計用于具有高精度電動x-y平臺的先進(jìn)半導(dǎo)體工具的主要振動隔離系統(tǒng)。這種儀器需要非常高效的振動隔離，同樣他們也要求通過快速設(shè)置移動平臺來減小負(fù)載從而極大的提高工具產(chǎn)量。新一代主動控制系統(tǒng)在STACIS iX的基礎(chǔ)上，包括TMC的STACIS技術(shù)，應(yīng)用壓電陶瓷驅(qū)動器和在串行結(jié)構(gòu)中添加剛性的懸架來實(shí)現(xiàn)* da化的振動隔離。這使得地板的隔振頻率從0.6Hz開始，并且在響應(yīng)階段力時顯著減小了初始偏差，這在業(yè)內(nèi)是****的。由于用于快速設(shè)置調(diào)節(jié)時間來進(jìn)一步增加生產(chǎn)量的前饋控制音圈電機(jī)的加入，使其成為用于運(yùn)動平臺應(yīng)用的先進(jìn)的主動振動和運(yùn)動隔離系統(tǒng)。

特點(diǎn)：

1、包含獨(dú)特的STACIS技術(shù)

2、采用可擴(kuò)展的壓電陶瓷致動器

3、負(fù)載的位置可重復(fù)性在微米范圍內(nèi)

4、可安裝的框架設(shè)計

5、6自由度

6、可選的音圈電機(jī)前饋或反饋

7、主動隔振從0.6赫茲開始

8、快速的調(diào)節(jié)時間來響應(yīng)平臺運(yùn)動

9、沒有氣浮支撐

10、通過USB2.0與電腦的圖形用戶界面GUI連接的高速數(shù)字控制器

11、簡單、魯棒性強(qiáng)，性價比高