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特點(diǎn)：

1.六自由度主動(dòng)振動(dòng)阻尼系統(tǒng)

2 .獨(dú)立或集成的強(qiáng)力電磁致動(dòng)器

3. 數(shù)字控制器

4. 非接觸式電子高度控制閥

優(yōu)點(diǎn)：

1、減小載荷運(yùn)動(dòng)和調(diào)整時(shí)間

2、更高的分辨率

3、模塊化設(shè)計(jì)允許用戶指定一個(gè)完整的單元或組件，方便OEM集成

4、前饋參數(shù)自動(dòng)調(diào)節(jié)，簡(jiǎn)化設(shè)置

Electro-Damp®是一款商業(yè)化、主動(dòng)的隔振系統(tǒng)，專門設(shè)計(jì)來(lái)增加半導(dǎo)體制造應(yīng)用的分辨率以及產(chǎn)量。Electro-Damp®II是對(duì)原始系統(tǒng)完全重新的設(shè)計(jì)，添加了模塊、數(shù)字控制、前饋控制，強(qiáng)力/高清晰度致動(dòng)器，以及專門設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用如顯微光刻法，檢驗(yàn)和計(jì)量工具的多個(gè)數(shù)字用戶接口。

半導(dǎo)體制造工具的放置需要隔振系統(tǒng)。針對(duì)地板噪聲，系統(tǒng)必須“軟”以便有效過(guò)濾地板振動(dòng)達(dá)到隔振效果。同時(shí)，系統(tǒng)必須“硬”來(lái)響應(yīng)平臺(tái)受力。

除了利用慣性、主動(dòng)反饋?zhàn)枘?，Electro-DampII還使用前饋信息進(jìn)一步提高系統(tǒng)響應(yīng)。前饋控制器的工作原理是通過(guò)具有平臺(tái)位置以及加速度信息的平臺(tái)控制器獲得信息，然后經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)處理后提供力用于驅(qū)動(dòng)負(fù)載，大大減少載荷運(yùn)動(dòng)。DC2000數(shù)字控制器還可以利用平臺(tái)測(cè)試模式自動(dòng)調(diào)節(jié)前饋所需的參數(shù)。這使得初始安裝或改變有效載荷后的設(shè)置更加快速和容易。Electro-Damp®II的模塊化設(shè)計(jì)允許系統(tǒng)單獨(dú)使用電子伺服閥或者電磁驅(qū)動(dòng)，或者對(duì)于*苛刻的應(yīng)用程序兩者結(jié)合使用。