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反射物鏡可調(diào)節(jié)，適用于精密校準(zhǔn)
可選多種鍍膜，適用于特定波長(zhǎng)范圍
采用有限共軛設(shè)計(jì)和RMS螺紋，可輕松集成在多種物鏡設(shè)置中
我們的TECHSPEC® 可調(diào)ReflX™ 物鏡，前身為Beck/Ealing反射物鏡，擁有堅(jiān)固的設(shè)計(jì)和多樣的放大倍率，適用于各種應(yīng)用。所有反射物鏡都具有160mm的鏡筒長(zhǎng)度和0.17mm的保護(hù)玻璃，在組裝和精密對(duì)準(zhǔn)時(shí)可提供良好的性能。為了延長(zhǎng)物鏡的使用壽命，除了15X，0.5NA物鏡，其他物鏡都可通過(guò)通用扳手調(diào)整內(nèi)部反射鏡的中心定位（附帶詳細(xì)說(shuō)明）。通過(guò)移動(dòng)調(diào)整環(huán)，74X物鏡可實(shí)現(xiàn)鏡筒長(zhǎng)度和保護(hù)玻璃的校正（如果鏡筒長(zhǎng)度改變，應(yīng)重新檢查和調(diào)整反射鏡的中心定位）。
每個(gè)物鏡都有3種鍍膜可選：鍍鋁外加氟化鎂鍍膜適用于近紫外（NUV）-可見光波段，深紫外（DUV）加硬鍍鋁適用于深紫外（DUV）-近紫外（NUV）波段，鍍金膜適用于紅外（IR）波段。這款標(biāo)準(zhǔn)的顯微鏡物鏡可使您免受色差和材料吸收問(wèn)題的困擾，這款組件非常適用于需要高吞吐量和優(yōu)異分辨率的應(yīng)用，如紅外光譜儀和顯微鏡，光刻，薄膜測(cè)量，半導(dǎo)體檢查和激光蝕刻等應(yīng)用。
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