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SPA 25 三維形貌儀是德國dataphysics 公司新推出的一款三維表面測量儀器，基于白光干涉原理，*小垂直分辨率可達(dá) 0.1nm。

【帶操縱桿的電動樣品臺】

自動樣品臺：

軟件或操作桿控制自動樣品臺可精確測量定位，并能實現(xiàn)大面積測量的自動移動和拼接功能，*da測量面積為：300mm*300mm。

【SPS 25 表面輪廓軟件】

軟件：

MountainsMap Imaging Topography software 強(qiáng)大的測量和分析軟件可完成所有表面分析的要求。計算表面結(jié)構(gòu)和表面粗糙度符合不同的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，如：ISO25178，ISO4287， ISO13565，ISO16610 等。

應(yīng)用范圍廣：

由于結(jié)合了高的測量分辨率，快的測量速度和強(qiáng)大的分析軟件使 SPA25 三維形貌儀具有非常廣的應(yīng)用范圍。如大面積樣品的3D表面形貌測量，表面缺陷測量，表面結(jié)構(gòu)測量， 表面粗糙度測量等。

【10x 和 50x 顯微鏡物鏡】

顯微鏡物鏡 :

SPA 25 使用 Mirau 干涉儀顯微鏡物鏡。這些物鏡具有不同的放大倍數(shù)，這些放大倍數(shù)會影響 XY 尺寸的分辨率。請注意，由于利用了白光干涉測量技術(shù)，Z 維度的分辨率與放大倍數(shù)無關(guān)。