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高通量(場(chǎng)發(fā)射）掃描電子顯微鏡 Navigator-100

Navigator-100高通量場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，專為跨尺度大規(guī)模樣品SEM表征分析而設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用于科研及工業(yè)等領(lǐng)域。其自動(dòng)化超高速的納米成像技術(shù)，為您提供超凡的成像體驗(yàn)。

-產(chǎn)品介紹

聚束科技獨(dú)立研發(fā)并擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的Navigator-100高通量（場(chǎng)發(fā)射）掃描電子顯微鏡，通過對(duì)成像技術(shù)、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、電路控制及智能算法的系統(tǒng)化創(chuàng)新設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了全球**通量成像，成像速度可達(dá)到傳統(tǒng)電鏡的數(shù)十倍以上。其全部采用直接電子探測(cè)器的技術(shù)方案，成功克服了傳統(tǒng)SEM技術(shù)在速度、精度和樣品損傷等方面的局限性，顛覆性地將掃描電鏡從傳統(tǒng)意義上的納米“照相機(jī)”提升為納米“攝像機(jī)”。同時(shí)操作簡(jiǎn)單，全自動(dòng)一鍵換樣，7*24小時(shí)無人值守運(yùn)行，全面提升科研效率。

我們將成熟的工業(yè)化高通量電鏡檢測(cè)技術(shù)應(yīng)用在生命科學(xué)、材料研究、半導(dǎo)體工業(yè)、地質(zhì)資源等領(lǐng)域。尤其在神經(jīng)生物學(xué)3D重構(gòu)、材料大面積表征分析、半導(dǎo)體反向工程、納米技術(shù)分析等應(yīng)用領(lǐng)域有顯著優(yōu)勢(shì)。

-產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 綜合成像速度＞10倍傳統(tǒng)電鏡

• 全球*快二次電子與背散射電子雙通道同步成像

• 海量SEM圖像快速生成數(shù)據(jù)分析報(bào)告

• 從百毫米到納米級(jí)的跨尺度材料表征

-產(chǎn)品特點(diǎn)

極速成像

通過自主研發(fā)的硬件和軟件設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)全球*快二次電子與背散射電子雙通道同步成像：視頻級(jí)高分辨成像2×100M像素/秒），6秒鐘即可拍攝一張6億像素超高清圖像（區(qū)域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）。相較傳統(tǒng)意義掃描電鏡，其掃描速度高出一個(gè)數(shù)量級(jí)以上。

高清視頻級(jí)攝像幀率（2×200幀/秒@512×512，或2×60幀/秒@1024×1024），使其具有實(shí)時(shí)觀測(cè)樣品動(dòng)態(tài)變化的能力。

高成像質(zhì)量

獨(dú)特的浸沒式電磁復(fù)合物鏡系統(tǒng)，有效地減小低落點(diǎn)能量下物鏡的象差，達(dá)到極高分辨能力（1.5nm @ 1 kV 1.0nm @ 5 kV）。

與物鏡場(chǎng)復(fù)合的靜電式掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)，相比于傳統(tǒng)電鏡的磁偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)，極大地減小圖像邊沿畸變，可獲得兼具高分辨率和大視野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸變1/1000以下，垂直畸變1/10000以下）的**圖像

In-Lens SE與BSE半導(dǎo)體直接電子探測(cè)器，雙通道同時(shí)高速成像，兼具高靈敏度和高信號(hào)電子收集效率，即使在nA級(jí)別的大束流條件仍可獲得**的圖像襯度和信噪比。

配備主動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)（激光干涉振動(dòng)補(bǔ)償、電磁干擾主動(dòng)補(bǔ)償），消除環(huán)境因素干擾，保證成像高分辨率高質(zhì)量。

跨尺度大規(guī)模成像

超高速掃描成像能力，結(jié)合全自動(dòng)聚焦跟蹤系統(tǒng)和A.I.圖像處理算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)超大區(qū)域（150mm*150mm）樣品進(jìn)行高分辨率全自動(dòng)不間斷矩陣式掃描，并自動(dòng)拼接獲得大尺寸納米級(jí)分辨率的全景地圖式成像，使之具備了跨尺度信息融合能力，可實(shí)現(xiàn)從納米級(jí)到毫米級(jí)的跨尺度材料表征。

智能分析

大數(shù)據(jù)智能分析 ，海量SEM圖像快速生成數(shù)據(jù)分析報(bào)告；

智能圖像處理，定制化圖像測(cè)量、統(tǒng)計(jì)、分析。

操作簡(jiǎn)單

全自動(dòng)樣品載入與導(dǎo)航，一鍵完成樣品更換，操作便捷，節(jié)省工時(shí)。大場(chǎng)光學(xué)成像導(dǎo)航與SEM成像無縫銜接，對(duì)指定區(qū)域快速準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)定位和觀測(cè)。

7*24小時(shí)全自動(dòng)化無人值守運(yùn)行能力。