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渦輪分子泵——真空泵中的***
真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的**壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機(jī)系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球**的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。轉(zhuǎn)速高達(dá) 90，000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達(dá) 10-11 mbar 的真空度。
**的真空解決方案 滿足**要求
普發(fā)真空擁有抽速介于10到2，700 升/秒的完整渦輪分子泵產(chǎn)品系列。產(chǎn)品具有很高的性價比和靈活的安裝方式。經(jīng)過實踐驗證的軸承系統(tǒng)提供了更優(yōu)化的可靠性。通常有兩種類型的軸承可供選擇——一種是由前級真空端的陶瓷球軸承與高真空端的永磁徑向軸承組合而成的復(fù)合軸承系統(tǒng)，另一種是完全主動式的磁懸浮軸承系統(tǒng)，其轉(zhuǎn)子懸浮空中，無任何接觸或磨損。得益于精密的轉(zhuǎn)子設(shè)計，使產(chǎn)品具有更出色的抽速，更好的前級泵兼容性和更大的氣流量，對于小分子氣體具有更高的壓縮比。
分子泵 Hipace® 10-800 l/s 技術(shù)參數(shù)
分子泵型號 | 分子泵連接尺寸 DN | 抽速 l/s | 壓縮比 | **啟動壓強(qiáng) hPa | 極限壓力 | 全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s | 啟動時間 | 重量 | |||
進(jìn)氣口 | 排氣口 | 氮?dú)?/span>N2 | 氦氣He | 氫氣 H2 | 氮?dú)?/span>N2 | 氮?dú)?span>N2 | 氮?dú)?span>N2 | min | kg | ||
HiPace® 10 | 25 | 16 | 10 | 6 | 3.7 | 3X106 | 25 | < 5X10–5 | 0.37 | 0.9 | 1.8 |
HiPace® 60 P | 63 | 16 | 64 | 48 | 28 | 1X106 | 4 | < 1X10–7 | 9.2 | 1.1 | 2.2 |
HiPace® 80 | 63 | 16 | 67 | 58 | 48 | > 1X1011 | 22 | < 1X10–7 | 1.3 | 1.75 | 2.4 |
HiPace® 300HiPace® 300 C HiPace® 300 P HiPace® 300 Plus | 100 | 16 | 260 | 255 | 220 | > 1X1011 | 15(控制器TC 110)20（控制器TC 400） | < 1X10–7 | 5（控制器TC 110）14（控制器TC 400） | 3.5(TC 110)1.8(TC 400) | 5.8 – 8.2 |
HiPace® 400HiPace® 400 P | 100 | 25 | 355 | 470 | 445 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 11.6 – 17.5 |
HiPace® 700 HiPace® 700P HiPace® 700 Plus | 160 | 25 | 685 | 655 | 555 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 11.5 – 17.4 |
HiPace® 800 HiPace® 800 P | 200 | 25 | 790 | 700 | 580 | > 1X1011 | 11 | < 1X10–7 | 6.5 | 2 | 12.8 – 19.1 |
普發(fā)真空渦輪分子泵代表著安全的性能
現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動能，當(dāng)轉(zhuǎn)子和定子相觸，動能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃?。因此，泵外殼的穩(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過理論和實際的雙重檢驗。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過UL 61010和/或Semi S2認(rèn)證。除機(jī)械安全性能外，該認(rèn)證同時也包括了防火和轉(zhuǎn)速過高的雙重保護(hù)，這向認(rèn)證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開創(chuàng)的。
我們關(guān)注客戶利益的核心
在整個生產(chǎn)工藝過程中，真空技術(shù)往往是成敗的關(guān)鍵因素。在各類生產(chǎn)應(yīng)用中，因批量故障或生產(chǎn)中斷而造成的費(fèi)用損失甚至可以高達(dá)上百萬元。因此采用性能穩(wěn)定可靠的部件顯得十分重要。如今，渦輪分子泵的工作時間已經(jīng)能達(dá)到 100，000 小時。這意味著產(chǎn)品能無間斷地運(yùn)行長達(dá)11年的時間。在此期間，應(yīng)盡可能地避免因保養(yǎng)或服務(wù)導(dǎo)致的運(yùn)行中斷。普發(fā)真空渦輪分子泵具備擴(kuò)展的自診斷功能，能滿足該項需求。通過分析真空泵的相關(guān)技術(shù)數(shù)據(jù)，給維修保養(yǎng)工作帶來了極大的支持。因此，任何保養(yǎng)都可以提前進(jìn)行預(yù)測，用戶可以自主安排保養(yǎng)計劃。此外，真空泵油和軸承都可以在現(xiàn)場直接進(jìn)行更換，更大程度上保障了正常生產(chǎn)運(yùn)行。渦輪分子泵的集成控制器減少了對繁瑣、昂貴的布線需要。一流的驅(qū)動技術(shù)將能源消耗降低到*少，同時還帶有多樣化的接口。真空泵具有IP54防護(hù)等級設(shè)計，符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求。緊湊型結(jié)構(gòu)設(shè)計能滿足更小的物理空間安裝需求。為將成本*小化，普發(fā)真空提供多樣化的控制器，供不同型號的泵使用。甚至泵體的重量也是重點(diǎn)考量的因素：抽速為 250 升/每秒的渦輪分子泵重量僅為 6 kg。普發(fā)真空渦輪分子泵的應(yīng)用范圍廣闊，不僅包括分析儀器、真空工藝和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括真空鍍膜、研發(fā)和其他各類工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域
在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。
● 分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）
● 半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽能電池等）
● 光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護(hù)、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）
● 真空鍍膜技術(shù)*（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）
● 真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）
暫無數(shù)據(jù)！
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