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壓電平臺(tái)XY200M沿X和Y軸的行程為200 μm，**可承受3kg的負(fù)載。應(yīng)用領(lǐng)域包括原子力或掃描隧道顯微鏡和掩膜定位等等。這種平臺(tái)基于APA200M設(shè)計(jì)，具有很高的硬度，可以配備精度高達(dá)10nm的應(yīng)變計(jì)或渦流傳感器。平臺(tái)沿X，Y和Z軸的轉(zhuǎn)動(dòng)非常小。移動(dòng)外框可根據(jù)要求定制。緊湊型XY25XS平臺(tái)非常適合用于光纖定位，微掃描等應(yīng)用。
參數(shù) | 單位 | XY25XS | XY200M |
型號(hào) | V-XYXS25 | V-XYM200 | |
備注 | - | - | |
傳感器 | SG | SG，ECS | |
主動(dòng)軸 | TX，TY | TX，TY | |
**空載位移[Tx，Ty] | um | 25 | 200 |
Z方向**面外位移 | um | 0.50 | 1.00 |
Z方向的**轉(zhuǎn)動(dòng) | urad | 50 | 240 |
XY方向的**轉(zhuǎn)動(dòng) | urad | 10 | 50 |
電壓范圍 | V | -20…150 | -20…150 |
硬度 | N/um | 2.50 | 0.59 |
高度(Z 軸) | mm | 18.0 | 22.0 |
尺寸(X&Y 軸) | mm | 50*50 | 100*100 |
分辨率 | nm | 0.3 | 2.0 |
質(zhì)量 | g | 80 | 180 |
空載共振頻率(在致動(dòng)方向) | Hz | 3000 | 580 |
響應(yīng)時(shí)間 | ms | 0.17 | 0.86 |
電容 (每個(gè)電氣接口) | uF | 0.50 | 6.30 |
機(jī)械接口(有效負(fù)載) | 1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm | 3Ф2.7mm holes on Ⅱ38 | |
機(jī)械接口 (框架) | 4 Ф2.8mm holes on []45 | 4 Ф4.5mm holes on []84 | |
電氣接口 | 2 RG178B/U同軸電纜 | 2 RG178B/U同軸電纜 |
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